[发明专利]保持夹具

权利要求书

1.一种保持夹具，该保持夹具为用于对被配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间的板状被处理物实施液浴处理的板状被处理物用保持夹具，其特征在于，

所述背面部件在与所述正面部件的对置面上具有多个凸起部。

2.根据权利要求1所述的保持夹具，其中，所述凸起部的上表面的俯视形状具有与正交于重力方向的方向非平行的直线部。

3.根据权利要求2所述的保持夹具，其中，所述凸起部的上表面的俯视形状为多边形。

4.根据权利要求3所述的保持夹具，其中，所述多边形为菱形。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的保持夹具，其中，所述凸起部在所述对置面上被配置成格子状。

6.根据权利要求5所述的保持夹具，其中，所述格子状为斜方格子、三角格子或者平行四边形格子。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的保持夹具，其中，所述凸起部在所述背面部件的厚度方向截面中，平均高度为1-3mm。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的保持夹具，其中，所述背面部件具有在厚度方向上连通的通孔。

9.根据权利要求8所述的保持夹具，其中，所述通孔形成于比被配置在重力方向的最上方的凸起部靠上侧、和/或比被配置在重力方向的最下方的凸起部靠下侧的位置。

10.根据权利要求1-9中任意一项所述的保持夹具，其中，相对于所述开口部的面积，所述凸起部的上表面的合计面积为80面积％以下。