[发明专利]一种可同时检测湿度、温度和流量的多功能气体传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201911142623.1 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN111157039B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 奚亚男;胡淑锦 | 申请（专利权）人： | 广州钰芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 广州帮专高智知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44674 | 代理人： | 颜德昊 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 同时 检测 湿度 温度 流量 多功能 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种多功能气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、基于氧化石墨烯的湿度传感器的制备：通过Cr/Au的电子束蒸发，在Si/SiO2晶片上加工叉指电极；将0.1mg / mL的氧化石墨烯水溶液滴加到叉指电极表面，水蒸发后，得到基于氧化石墨烯的湿度传感器；
S2、微型加热器的制备：使用微加工技术在Si/SiO2晶片上与所述步骤S1制备的湿度传感器相对的位置制备微加热器阵列，具体为使用光致抗蚀剂旋涂在Si/SiO2晶片上进行光刻工艺，随后溅射Cr/Pt层，并进行剥离工艺，得到蛇形铂微线；之后溅射Cr/Au层，并进行剥离工艺，在蛇形铂微线的两端制备Au接触焊盘，得到微型加热器；
同一基底可制备四个所述微型加热器，以并联方式连接到外部直流电源，得到所述多功能气体传感器，可同时或单一检测气体的湿度、温度和流量。
2.根据权利要求1所述的多功能气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述Si/SiO2晶片中Si和SiO2的厚度分别为300 µm和280 nm。
3.根据权利要求1所述的多功能气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述Cr/Au层中Cr和Au的厚度分别为10 nm和70 nm。
4.根据权利要求1所述的多功能气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述光致抗蚀剂的厚度为4 μm。
5.根据权利要求1所述的多功能气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述Cr/Pt层中Cr和Pt的厚度分别为10 nm和300 nm；所述Cr/Au层中Cr和Au的厚度分别为10nm和300 nm。
6.一种根据权利要求1-5任一项所述方法制备的多功能气体传感器，其特征在于，所述气体传感器包括基板、上电极层和下电极层，其中所述上电极层和下电极层分别位于所述基板的两侧，所述上电极层修饰有湿度传感器，所述下电极层修饰有微型加热器。
7.根据权利要求6所述的一种多功能气体传感器，其特征在于，所述湿度传感器包括基底和电极层，其中所述基底为Si/SiO2晶片，所述电极层为修饰了氧化石墨烯的Cr/Au层。
8.根据权利要求6所述的一种多功能气体传感器，其特征在于，所述微型加热器为蛇形铂微线结构。
9.一种根据权利要求1-5任一项所述方法制备的多功能气体传感器的应用，其特征在于，所述气体传感器可同时或单一检测气体的湿度、温度和流量。
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