[发明专利]一种太赫兹时域光谱分析室有效
申请号: | 201911145695.1 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN110726672B | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 王金;纪宝平;路波;吴斌 | 申请(专利权)人: | 中电科思仪科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/3581 |
代理公司: | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人: | 刘娜 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 赫兹 时域 光谱分析 | ||
本发明公开了一种太赫兹时域光谱分析室,包括由底板、外框、前立板和上翻盖组成的分析室的外壳,所述分析室内位于底板上设置有位移台,所述位移台上设有置物台,所述分析室内位于前立板上铰接有发射探头支架和接收探头支架的一端,所述发射探头支架的另一端固定有发射探头,所述接收探头支架的另一端固定有接收探头,所述发射探头和接收探头分别位于置物台的两侧,所述前立板上位于铰接点外周开设一圈弧形槽,所述发射探头支架和接收探头支架的旋转把手穿过弧形槽与调节螺母螺接,本发明所公开的分析室可以满足所有被测样品的测试需求,可实现水平透射、竖直透射和各种角度的反射测试,自动化调整样品位置,随时观察分析室内部温湿度和压力状态。
技术领域
本发明涉及一种光谱分析室,特别涉及一种太赫兹时域光谱分析室。
背景技术
太赫兹时域光谱技术是最新的电磁波谱技术,在很多基础研究领域、工业应用领域、医学领域、军事领域及生物领域中有重要应用前景。太赫兹光谱技术不仅信噪比高,能够迅速地对样品组成的微细变化做出分析和鉴别,而且该技术是非接触测量技术,能够对半导体、电介质薄膜及物体材料的物理信息进行快速准确的测量。
太赫兹时域光谱测试分为透射式、反射式、差分式和椭偏式等,其中最常用的是透射式和反射式。
由于太赫兹时域光谱分析是利用太赫兹光束照射被测样品,通过分析反射或透射光束信号变化来确定被测样品特性的过程。光谱容易受到传输介质的影响,要求测试环境必须纯净,通常采用充填单一气体的方法,因此要求分析室需要满足密闭的要求。对于不同的测试样品需要不同的测试方案,液体样品通常需要透射测试,固体样品通常需要反射测试。透射既可以实现水平透射,也需要实现竖直透射。反射测试需要能够实现不同的反射角度测量。因此,光谱分析需要特殊的样品室,应同时满足透射和反射测试的特殊需求。
探测分析对样品位置精度要求较高,当前测试结构方案多种多样,样品放置位置、太赫兹产生和接收探头位置的调节多数为手动调节形式,探测对位置精度要求较高,手动调节需要反复尝试才能放置于正确的位置。自动化程度低。因此,如果能自动调节,可以极大的节省测试时间,提高测试效率。
另外,探测过程中对太赫兹发射探头和接收探头的位置和角度都有严格要求,因此,需要特殊的设计结构来保证两个探头能够在正确的位置。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供了一种太赫兹时域光谱分析室,以达到可以满足所有被测样品的测试需求,可实现水平透射、竖直透射和各种角度的反射测试,自动化调整样品位置,随时观察分析室内部温湿度和压力状态的目的。
为达到上述目的,本发明的技术方案如下:
一种太赫兹时域光谱分析室,包括由底板、外框、前立板和上翻盖组成的分析室的外壳,所述分析室内位于底板上设置有位移台,所述位移台上设有置物台,所述分析室内位于前立板上铰接有发射探头支架和接收探头支架的一端,所述发射探头支架的另一端固定有发射探头,所述接收探头支架的另一端固定有接收探头,所述发射探头和接收探头分别位于置物台的两侧,所述前立板上位于铰接点外周开设一圈弧形槽,所述发射探头支架和接收探头支架的旋转把手穿过弧形槽与调节螺母螺接。
上述方案中,所述发射探头和接收探头分别通过光学调整架与发射探头支架和接收探头支架连接。
上述方案中,所述弧形槽包括一段优弧槽和一段劣弧槽,所述发射探头和接收探头的旋转把手分别位于两段弧形槽内。
进一步的技术方案中,所述发射探头的旋转把手位于优弧槽内,所述接收探头的旋转把手位于劣弧槽内;或者所述发射探头的旋转把手位于劣弧槽内,所述接收探头的旋转把手位于优弧槽内。
进一步的技术方案中,所述弧形槽外侧设有0-360°的角度刻线。
更进一步的技术方案中,所述前立板上位于弧形槽的角度刻线外还固定连接有前框,所述前框上设置前盖,所述前盖一端与所述前框铰接,所述前框上设置把手。
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