[发明专利]一种可正性光刻胶用聚酰亚胺树脂及其制备方法

权利要求书

1.一种正性光敏聚酰亚胺树脂及其制备方法，其特征在于聚酰亚胺结构中带有羧基，具有很好的碱溶性，该正性光敏聚酰亚胺树脂的化学结构式如下：

其中R为如下结构中的任意一种：

(其中Y为中的任意一种)

其中Ar₁是二酐单体的中间结构，Ar₂是二胺单体的中间结构，x＝0.1-0.9，n＝5-200。

上述Ar₁的结构包括但不限于以下5种：

式中，

上述Ar₂的结构包括但不限于以下5种：

2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺，其特征在于其特征在于聚酰亚胺结构中带有羧基，具有很好的碱溶性。其中参与制备聚酰亚胺结构的二胺单体为以下结构的任意一种：

(其中Y为中的任意一种)

3.如权利要求1中所述的光敏型聚酰亚胺树脂，其制备方法包括如下步骤：

在氮气保护下向干燥的三颈瓶中依次加入R含有羧基的二胺单体、其他不含羧基的二胺单体、二酐单体和有机溶剂，室温下搅拌2-12小时，然后，向反应瓶中缓慢滴加三乙胺和乙酸酐的混合物，并在室温下继续反应4-18小时。反应结束后，将所得到的高度粘稠的聚合物溶液缓慢倒入大量甲醇中，析出的固体用甲醇充分洗涤，放入真空烘箱中干燥5小时。

或在氮气保护下向干燥的三颈瓶中依次加入R含有羧基的二胺单体、其他不含羧基的二胺单体、二酐单体和有机溶剂，室温下搅拌2-12小时，然后，向反应瓶中持续缓慢滴加甲苯，并升温至160℃，保持160℃下继续反应4-8小时，使甲苯和水共沸脱除。反应结束后，将所得到的高度粘稠的聚合物溶液。

4.权利要求3所述的制备方法中，含有羧基的二胺单体与不含羧基的二胺单体，二者摩尔比为：1:9-9:1。

5.权利要求5所述的制备方法中有机溶剂为：N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮、二甲亚砜、丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)和γ-丁内酯中的一种或几种混合溶剂。

6.权利要求5所述的制备方法中二酐和二胺单体在有机溶剂中总浓度为：5-40w/v％。