[发明专利]一种气-油混合静压导轨

说明书

本发明公开了一种气‑油混合静压导轨，包括：导轨，分别与导轨上端面、侧面、下端面静压配合的上溜板、侧溜板和下溜板，所述导轨上端面与上溜板之间形成气膜支撑，所述导轨下端面与下溜板之间也形成气膜支撑，所述导轨侧面与侧溜板之间形成油膜支撑。通过上述方式，本发明在空气静压的基础上增加液体静压润滑，能够提高导轨的承载力及刚度，并能够使导轨获得更好的运动性能，以满足高精度、高速度运行系统中使用；同时上下气膜相互形成气密封，防止液压油散逸污染导轨或外部环境。

技术领域

本发明涉及静压导轨技术领域，特别是涉及一种气-油混合静压导轨。

背景技术

随着我国国防工业、航天航空和电子技术等前沿科技的蓬勃发展，对超精密加工及超精密测量设备精度的要求越来越严苛。发展超精密加工及检测技术已经成为当今机械行业的重要发展方向。

在超精密加工及检测设备中，对移动部件的高速度和高运动精度提出了极高的要求。空气静压导轨是利用压力泵将高压空气强行泵入溜板和导轨之间微小间隙的滑动导轨，由于其摩擦因数小，工作寿命长，温度分布均匀，被广泛地应用于超精密加工和检测设备的运动系统中。

空气静压导轨采用空气进行润滑，但由于气体的可压缩的特性，导致其承载能力及刚度较低。

另外还有一种液体静压导轨，采用油作为润滑介质，具有承载力大、刚度好的特性，但由于其粘滞阻力大，一般不适用于高速场景。

鉴于此，需要研发一种新的静压导轨，以弥补空气静压导轨承载力差、刚度低的问题。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种气-油混合静压导轨，能够提升导轨系统整体承载力及刚度，并能够获得更好的运动性能，以满足高精度、高速度运行系统中使用。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种气-油混合静压导轨，包括：导轨，分别与导轨上端面、侧面、下端面静压配合的上溜板、侧溜板和下溜板，所述导轨上端面与上溜板之间形成气膜支撑，所述导轨下端面与下溜板之间也形成气膜支撑，所述导轨侧面与侧溜板之间形成油膜支撑。

在本发明一个较佳实施例中，所述上溜板内开设有上溜板进气通道、和与所述上溜板进气通道相贯通的至少一根上溜板节流气通道，所述上溜板节流气通道上开设有贯穿至所述上溜板下端面的上溜板气节流孔。

在本发明一个较佳实施例中，所述上溜板节流气通道有五根，均布在所述上溜板纵向面内且相互平行设置；每根所述上溜板节流气通道上开设有四个所述上溜板气节流孔。

在本发明一个较佳实施例中，所述下溜板有结构相同的两块，沿导轨中心对称分布，所述下溜板内开设有下溜板进气通道、和与所述下溜板进气通道相贯通的至少一根下溜板节流气通道，所述下溜板节流气通道上开设有贯穿至所述下溜板上端面的下溜板气节流孔。

在本发明一个较佳实施例中，所述下溜板节流气通道有五根，均布在所述下溜板纵向面内且相互平行设置；每根所述下溜板节流气通道上开设有一个所述下溜板气节流孔。

在本发明一个较佳实施例中，所述侧溜板有结构相同的两块，沿导轨中心对称分布，所述侧溜板内开设侧溜板进油通道、和与所述侧溜板进油通道相贯通的至少一根侧溜板节流油通道，所述侧溜板节流油通道上开设有贯穿至所述侧溜板侧壁的侧溜板油节流孔。

在本发明一个较佳实施例中，所述侧溜板节流油通道有五根，均布在所述侧溜板纵向面内且相互平行设置；每根所述侧溜板油节流通道上开设有两个侧溜板油节流孔。

在本发明一个较佳实施例中，所述下溜板的上还设有集油槽，所述集油槽的槽口位于所述侧溜板与导轨侧面静压配合的间隙正下方。

在本发明一个较佳实施例中，所述下溜板内还开设有回油管道，所述回油管道与所述集油槽连通。