[发明专利]掩膜板及其制作方法

说明书

本发明涉及一种掩膜板及其制作方法。掩膜板包括掩膜区，包括多个开口；夹持区，位于所述掩膜区两侧；过渡区，位于所述夹持区与所述掩膜区之间；其中，所述夹持区的厚度大于所述掩膜区的厚度，所述过渡区的厚度自所述夹持区向所述掩膜区趋于减小。本发明提供的掩膜板及掩膜板制作方法，在掩膜板的掩膜区减薄的同时，增加了夹持区的固定能力，且避免了在掩膜板拉平焊接时产生褶皱，整体提高了掩膜板的蒸镀精度。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种掩膜板及其制作方法。

背景技术

有机电致发光(OLED)显示器具有功耗低、轻便、亮度高、视野宽和反应快等特点使其能够广泛应用于便携式电子设备、穿戴电子设备、车载电子设备等诸多领域中。同时，随着智能手机等便携式电子设备对显示器提出了越来越高的分辨率要求，屏幕解析度的发展将达到超高清标准(Ultra High Definition)，分辨率的提高对成膜设备精度提出了更高的要求，这对现有OLED显示面板的制作技术形成了巨大的挑战。

OLED显示面板中的发光层等功能层一般通过使用掩膜板的蒸镀方法形成，蒸镀方法能够避免发光层中的有机材料与水汽、氧气接触而失效。随着OLED显示面板的分辨率越来越高，用于蒸镀的掩膜板的厚度越来越薄，像素开口也越来越小。

但掩膜板的厚度越薄，掩膜板的刚度将减弱，在张网时，容易出现褶皱现象，进而导致在后续蒸镀过程中，因掩膜板的开口位置偏位而产生混色现象。

发明内容

基于此，本发明提供一种改善上述问题的掩膜板及其制作方法，解决针对现有掩膜板在张网时出现褶皱现象，而导致后续蒸镀过程中掩膜板的开口位置偏移而产生混色现象的问题。

根据本申请的一个方面，提供一种掩膜板，包括：

掩膜区，包括多个开口；

夹持区，位于所述掩膜区两侧；及

过渡区，位于所述夹持区与所述掩膜区之间；

其中，所述夹持区的厚度大于所述掩膜区的厚度，所述过渡区的厚度自所述夹持区向所述掩膜区趋于减小。

在一实施例中，所述过渡区包括依次连接的多个过渡段，自所述夹持区向所述掩膜区中位于上游的所述过渡段的厚度大于位于相邻的下游的所述过渡段的厚度。

在一实施例中，每一所述过渡段的表面具有第一台阶面和与所述第一台阶面连接的第二台阶面；

所述第一台阶面与所述第二台阶面之间呈角度设置。

在一实施例中，所述第一台阶面与所述第二台阶面的连接处平滑过渡。

一种掩膜板的制作方法，所述掩膜板包括掩膜区、夹持区及过渡区，所述掩膜区包括多个开口，所述夹持区位于所述掩膜区两侧，所述过渡区位于所述掩膜区与所述夹持区之间，所述掩膜板的制作方法包括步骤：

提供一衬底基板；

在所述衬底基板的一侧表面上形成导电层；其中，所述导电层包括与所述掩膜区、所述夹持区及所述过渡区分别对应的第一区域、第二区域和第三区域；

在所述导电层的所述第一区域上形成与所述多个开口相对应的第一光刻胶图案层；

在所述导电层上形成电铸图案层；其中，所述电铸图案层对应所述第二区域的电铸材料厚度大于所述电铸图案层对应所述第一区域的电铸材料厚度，且所述电铸图案层对应所述第三区域的电铸厚度，自所述第二区域向所述第一区域的方向上趋于减小；

去除所述衬底基板、所述导电层及所述第一光刻胶图案层。

在一实施例中，所述在所述导电层上形成电铸图案层，具体包括步骤：