[发明专利]一种飞拍方法、系统以及芯片键合方法、系统

权利要求书

1.一种飞拍方法，其特征在于：包括如下步骤，根据拍照位置设置运动路径，运动路径包括加速区、匀速区以及减速区，所述拍照位置设置在匀速区，运动路径上的拍照位置设置为圆滑的曲线或直线，拍照时间与匀速区的速度乘积小于照片中一个像素的长度，拍照过程中，进行补光，补光具体方式为，在拍照前曝光的光源，再拍照后关闭曝光的光源，曝光的光源通过脉冲信号启动，所述脉冲信号为4-6倍的额定电流，曝光时间点设置行程补偿，曝光的开始时间在拍照位置前一段时间进行启动脉冲信号，曝光提前的时间等于脉冲信号从低电势爬升至高电势所需要的时间。

2.根据权利要求1所述的一种飞拍方法，其特征在于：所述光源包含了可编程的红蓝光组。

3.一种应用权利要求1-2任意一项所述的飞拍方法的飞拍系统，其特征在于：包括运动路径规划模块、拍照模块以及曝光模块，运动路径规划模块根据需要拍照位置进行规划运动路径，运动路径中，位于拍照模块的拍照位置设置为匀速运动，且运动路径的拍照位置设置为圆滑曲线，所述曝光模块用于在拍照之前进行光补偿。

4.一种应用权利要求1-2任意一项所述的飞拍方法的芯片键合控制系统，其特征在于：包括控制器、耦接在控制器上的键合头、固定在键合头上且与控制器耦接的摄像机、固定在摄像机上且与控制器耦接的光源，所述控制器根据芯片的位置规划运动路径，运动路径依次经过每个芯片，拍照位置在芯片上方，光源的曝光时间点在拍照之前，光源的关闭时间点在拍照之后，运动路径在拍照位置设置为圆滑曲线，摄像机在拍照点的速度为匀速。

5.根据权利要求4所述的一种芯片键合控制系统，其特征在于：摄像机在拍照点的运动速度与摄像机拍照时间的乘积小于拍的得相片的一个像素的长度。

6.根据权利要求5所述的一种芯片键合的控制系统，其特征在于：控制器内设置有形成补偿单元，所述形成补偿单元，定义一个时间轴，将时间点通过时间轴上的质点表示，曝光时间的起始时间点与终止时间点的终端相对于拍照时间的起始时间点与终止时间点的中点提前，提前的长度为脉冲光信号爬升时间的时间段的长度。

7.一种应用权利要求1-2任意一项所述的飞拍方法的芯片键合方法，其特征在于：包括如下步骤，将芯片安装在固定位置，在芯片上方设置用于键合芯片的键合头，根据每个芯片的位置规划每个芯片的拍照位置，规划键合头的运动路径，在拍照的位置所位于的运动路径段设置成圆滑曲线，在键合头上固定摄像机，通过摄像机完成拍照，摄像机运动至拍照位置时摄像机匀速运动，摄像机运动的速度与摄像机拍照时间的乘积小于摄像机拍得照片的像素的长度。

8.根据权利要求7所述的一种芯片键合方法，其特征在于：控制器内设置有错误侦测单元，错误侦测单元用于实时监测光源点亮、相机触发、光源关闭的时序，三者的时序出现错误时，错误侦测单元向控制器发出停止命令，系统停止运行。