[发明专利]一种掩膜版、蒸镀系统及掩膜版的制备方法

说明书

本申请提供了一种掩膜版、蒸镀系统及掩膜版的制备方法，所述掩膜版包括：多个掩膜条，所述掩膜条上设置有至少一组有效蒸镀区以及位于所述有效蒸镀区周围的过渡区；其中，所述掩膜条由至少两个掩膜主体层叠设置形成，至少部分所述掩膜主体对应所述过渡区的位置设置有通孔，至少两个相邻所述掩膜主体上的所述通孔之间错位设置，以使蒸镀材料无法通过所述过渡区。通过上述方式，本申请能够对掩膜版过渡区内的通孔进行遮挡。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种掩膜版、蒸镀系统及掩膜版的制备方法。

背景技术

目前在制备显示面板时，一般需要借助于掩膜版，并通过蒸镀的方式将蒸镀材料蒸镀到预定位置上。但是现有掩膜版的结构存在无法使显示面板实现窄边框的问题。

发明内容

本申请主要解决的技术问题是提供一种掩膜版、蒸镀系统及掩膜版的制备方法，能够对掩膜版过渡区内的通孔进行遮挡。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种掩膜版，包括：多个掩膜条，所述掩膜条上设置有至少一组有效蒸镀区以及位于所述有效蒸镀区周围的过渡区；其中，所述掩膜条由至少两个掩膜主体层叠设置形成，至少部分所述掩膜主体对应所述过渡区的位置设置有通孔，至少两个相邻所述掩膜主体上的所述通孔之间错位设置，以使蒸镀材料无法通过所述过渡区。

为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种蒸镀系统，所述蒸镀系统包括：上述任一实施例中所述的掩膜版以及蒸镀装置，所述蒸镀装置用于基于所述掩膜版的所述有效蒸镀区，对待蒸镀基板进行蒸镀。

为解决上述技术问题，本申请采用的另一个技术方案是：提供一种掩膜版的制备方法，所述制备方法包括：形成多个掩膜条，所述掩膜条上设置有多个有效蒸镀区以及位于所述有效蒸镀区周围的过渡区；将多个所述掩膜条进行张网固定，以形成所述掩膜版；其中，所述掩膜条由至少两个掩膜主体层叠设置形成，至少部分所述掩膜主体对应所述过渡区的位置设置有通孔，至少两个相邻所述掩膜主体上的所述通孔之间错位设置，以使蒸镀材料无法通过所述过渡区。

本申请的有益效果是：本申请所提供的掩膜版中的掩膜条上设置有至少一组有效蒸镀区以及位于有效蒸镀区周围的过渡区，掩膜条由至少两个掩膜主体层叠设置形成，且至少部分掩膜主体对应过渡区的位置设置有通孔，至少两个相邻掩膜主体上的通孔之间错位设置，以使蒸镀材料无法通过过渡区。即本申请中多层掩膜主体层叠设置，通过不同层掩膜主体之间相互遮挡，以使得位于过渡区的掩膜条上无通孔，进而使得在蒸镀时待蒸镀基板对应掩膜条的过渡区的位置无蒸镀材料，有利于降低显示面板的边框宽度，提高显示面板的边框的利用性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1为本申请掩膜版一实施方式的结构示意图；

图2为图1中掩膜条沿A-A剖线一实施方式的剖视示意图；

图3为图1中掩膜条沿A-A剖线另一实施方式的剖视示意图；

图4为图1中掩膜条沿A-A剖线另一实施方式的剖视示意图；

图5为本申请蒸镀系统一实施方式的结构示意图；

图6为本申请掩膜版的制备方法一实施方式的流程示意图。

具体实施方式