[发明专利]基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备

权利要求书

1.基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备，其特征在于，包括第一激光器(15)、光纤分束器(16)、第一光纤声光调制器(17)、第二光纤声光调制器(18)、第一光纤准直器(19)、第二光纤准直器(20)、第一分束器(23)、第一合束器(25)、点探测器(26)、第一偏振调节系统、第二合束器(31)、第二分束器(32)、第二偏振调节系统、第一面阵探测器(37)；待测光学系统(29)设置在第一偏振调节系统内；

所述第一激光器(15)输出的线偏振光被光纤分束器(16)分为光束一和光束二，光束一依次经过第一光纤声光调制器(17)调制频率、第一光纤准直器(19)准直后经第一分束器(23)分成光束三和光束四，光束三传输至第一合束器(25)；光束四传输经第一偏振调节系统和经待测光学系统(29)后光束四的偏振态改变90°，然后传输至第二合束器(31)；光束二依次经过第二光纤声光调制器(18)调制频率、第二光纤准直器(20)准直后经第二分束器(32)分为光束五和光束六，光束五传输至第一合束器(25)；光束六经第二偏振调节系统将偏振态改变90°后传输至第二合束器(31)；传输至第一合束器(25)上的光束三和光束五经第一合束器(25)合束后被点探测器(26)接收，传输至第二合束器(31)上的光束四和光束六被第二合束器(31)合束后被第一面阵探测器(37)接收；经过第一光纤声光调制器(17)调制频率后的光束一和经过第二光纤声光调制器(18)调制频率后的光束二之间存在频率差。

2.如权利要求1所述的基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备，其特征在于，所述测量设备还包括第一转向镜(24)，第一转向镜(24)位于第一分束器(23)和第一合束器(25)之间，光束三经第一转向镜(24)反射后传输至第一合束器(25)。

3.如权利要求1所述的基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备，其特征在于，所述第一偏振调节系统包括顺次设置的第一偏振分束器(27)、第一四分之一波片(28)和第一反射镜(30)，待测光学系统(29)位于第一四分之一波片(28)和第一反射镜(30)之间；

经第一分束器(23)分束得到的光束四依次经第一偏振分束器(27)透射、经第一四分之一波片(28)改变偏振态、经待测光学系统(29)、垂直入射到第一反射镜(30)并发生反射、经待测光学系统(29)、经第一四分之一波片(28)改变偏振态、经第一偏振分束器(27)反射后传输至第二合束器(31)。

4.如权利要求1所述的基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备，其特征在于，所述测量设备还包括第二转向镜(36)；所述光束六经第二偏振调节系统将偏振态改变90°后，经第二转向镜(36)反射至第二合束器(31)。

5.如权利要求4所述的基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备，其特征在于，所述第二偏振调节系统包括顺次设置的第二偏振分束器(33)、第二四分之一波片(34)和第二反射镜(35)；

经第二分束器(32)分束得到的光束六依次经第二偏振分束器(33)透射、经第二四分之一波片(34)改变偏振态、垂直入射到第二反射镜(35)并发生反射、经第二四分之一波片(34)改变偏振态、经第二偏振分束器(33)反射、经第二转向镜(36)反射后传输至第二合束器(31)。

6.如权利要求1所述的基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备，其特征在于，所述测量设备还包括第一线偏振片(21)和第二线偏振片(22)，所述第一线偏振片(21)位于第一光纤准直器(19)和第一分束器(23)之间，第二线偏振片(22)位于第二光纤准直器(20)和第二分束器(32)之间，第一线偏振片(21)和第二线偏振片(22)的透光轴方向均与第一激光器(15)输出的线偏振光的偏振方向平行。

7.如权利要求1所述的基于声光调制器外差干涉测量光学系统波像差的测量设备，其特征在于，所述光束四和光束六在第一面阵探测器(37)上形成干涉信号，光束三和光束五在点探测器(26)上形成干涉信号。