[发明专利]一种减少覆铜陶瓷基板母板翘曲的方法有效

专利信息
申请号: 201911153346.4 申请日: 2019-11-22
公开(公告)号: CN110993507B 公开(公告)日: 2021-05-25
发明(设计)人: 周轶靓;贺贤汉;戴洪兴;王斌;阳强俊;陈天华 申请(专利权)人: 江苏富乐德半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/13
代理公司: 上海申浩律师事务所 31280 代理人: 赵建敏
地址: 224200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 减少 陶瓷 母板 方法
【权利要求书】:

1.一种减少覆铜陶瓷基板母板翘曲的方法,其特征在于:具体步骤如下:对长方形母板正反两面进行曝光、显影、蚀刻后,正反两面的左右两条长边边缘形成有长铜箔工艺边,正反两面的上下两条短边边缘形成有短铜箔工艺边,中间部位形成有多个图形单元;

所述短铜箔工艺边上于面向图形单元一边上开多个缺口;所述多个缺口分别纵向对应图形单位与长铜箔工艺边之间的间隙、相邻图形单元之间的间隙和图形单位内部开设的纵向间隙。

2.根据权利要求1所述的一种减少覆铜陶瓷基板母板翘曲的方法,其特征在于:所述缺口为半圆形,半圆形缺口半径R≤4mm。

3.根据权利要求1所述的一种减少覆铜陶瓷基板母板翘曲的方法,其特征在于:所述缺口为拱形,拱形缺口宽度b≤3mm,长度L≤a/3,a为短铜箔工艺边宽度。

4.根据权利要求1所述的一种减少覆铜陶瓷基板母板翘曲的方法,其特征在于:所述缺口为梯形,梯形缺口顶边宽度b≤3mm,底边宽度d≤3b,高度h≤a/3,a为短铜箔工艺边宽度。

5.根据权利要求1所述的一种减少覆铜陶瓷基板母板翘曲的方法,其特征在于:所述缺口为T形,T形缺口宽度b≤3mm,长度L≤3b,高度h≤a/3,a为短铜箔工艺边宽度。

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