[发明专利]一种具有声管的MEMS压电超声换能器有效
| 申请号： | 201911154366.3 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN111314829B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;吴志鹏;王磊;朱伟;胡博豪;林炳辉;占惠花 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 彭艳君 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 有声 mems 压电 超声 换能器 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有声管的MEMS压电超声换能器，其特征是，包括MEMS压电超声换能器和内部为腔体结构的硅衬底形成的至少1个声管，每个声管包括至少3个声波导管，且CSOI晶片上沉积压电叠层后通过刻蚀和底部打磨形成的第一声波导管、第三声波导管与Si晶片上通过刻蚀形成的第二声波导管键合；MEMS压电超声换能器的压电叠层结构，采用三明治结构或者双压电晶片结构；MEMS压电超声换能器的三明治结构，包括自上而下的第一上电极、第一压电层、第一下电极、Si层、SiO2层；MEMS压电超声换能器的双压电晶片结构，包括自上而下的第二上电极、第二压电层、中间电极、第三压电层、第二下电极。
2.如权利要求1所述的具有声管的MEMS压电超声换能器，其特征是，通过改变声波导管的尺寸，从而改变声波导管的阻抗，实现对声管出口处声音强度、相位的调整；或者通过改变声波导管的尺寸，实现MEMS压电超声换能器与声管出口的距离的调整。
3.如权利要求1所述的具有声管的MEMS压电超声换能器，其特征是，声管的横截面为圆形或多边形；MEMS压电超声换能器形状与声管相适配。
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