[发明专利]一种表压力传感器用气流变向的防护结构在审
申请号: | 201911156904.2 | 申请日: | 2019-11-22 |
公开(公告)号: | CN110736583A | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 王小平;李凡亮;吴登峰;曹万 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01L19/14 | 分类号: | G01L19/14;G01L19/00 |
代理公司: | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人: | 汤蔚莉 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气流通道 变向 防护结构 压力平衡 侧壁 表压传感器 保护腔体 表压力 传感器 模组 压力传感器技术 大颗粒灰尘 大颗粒杂质 主气流通道 防护部件 气流通过 轻质杂质 圆周阵列 重力作用 防尘帽 上端 上盖 连通 依附 | ||
本发明涉及压力传感器技术领域,且公开了一种表压力传感器用气流变向的防护结构,包括表压传感器模组,所述表压传感器模组的上端安装有防护部件。该一种表压力传感器用气流变向的防护结构,通过上盖和防尘帽之间形成与保护腔体连通的变向气流通道的配合使用,变向气流通道侧壁气流通道和主气流通道使气体被变向进入到保护腔体的内部,在实现压力平衡同时,外界大颗粒灰尘和液体等杂质在重力作用下无法进入气流通道,部分轻质杂质即使能进入气流通道,在变向过程中依附在气流通道的侧壁,圆周阵列布置的侧壁气流通道可以确保良好的气流通过性,在保持压力平衡的同时隔绝了大颗粒杂质,从而实现了压力平衡和防护结构共同作用的目的。
技术领域
本发明涉及压力传感器技术领域,具体为一种表压力传感器用气流变向的防护结构。
背景技术
压力传感器分为绝压和表压两种类型,绝压传感器感测压力与固定参考压力的差值;表压传感器为感测压力与环境压力的差值,由于环境压力值受温湿度、海拔等因素的影响,不同环境下的参考压力值各不相同,为保证表压类型的传感器输出精度,必须确保环境压力与传感器内部压力平衡。
现有技术中表压传感器的内部压力与环境压力平衡相连通的同时,恶劣的大气环境例如液体、湿气和尘埃粒子等进入到MEMS(微机电系统)压力传感器的内部,会对表压传感器的测量精度和耐久性产生影响,存在着在实现传感器参考压力平衡的同时,不能够进行保护的缺点,故而提出一种表压力传感器用气流变向的防护结构。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种表压力传感器用气流变向的防护结构,具备压力平衡和防护结构共同作用的等优点,解决了现有技术中表压传感器的内部压力与环境压力平衡相连通的同时,恶劣的大气环境例如液体、湿气和尘埃粒子等进入到压力传感器的内部,会对表压传感器的测量精度和耐久性产生影响,存在着在实现传感器参考压力平衡的同时,不能够进行保护的缺点的问题。
(二)技术方案
为实现上述压力平衡和防护结构共同作用的目的,本发明提供如下技术方案:一种表压力传感器用气流变向的防护结构,包括表压传感器模组,所述表压传感器模组的上端安装有防护部件,所述表压传感器模组和防护部件之间形成保护腔体;
所述防护部件包括上盖和防尘帽,所述上盖的上端安装有防尘帽,所述上盖和防尘帽之间形成与保护腔体连通的变向气流通道;所述变向气流通道包括垂直相交的侧壁气流通道和主气流通道;
所述主气流通道的上方设有防水透气膜。
优选的,所述上盖包括连接管和第二环形卡扣,所述第二环形卡扣连接在连接管的上端,所述主气流通道设置在连接管的几何中心处,所述侧壁气流通道阵列分布第二环形卡扣上。
优选的,所述防尘帽的内侧壁设有第一环形卡扣,所述防尘帽的内顶面阵列分布有凸块,用于上盖和连接管的装配限位。
优选的,所述第一环形卡扣和第二环形卡扣之间形成过盈配合。
优选的,所述连接管的上端面开设有凹槽,用于定位和放置防水透气膜。
优选的,所述防水透气膜的上平面和连接管的上端面位于同一水平面,用于防止堵塞。
(三)有益效果
与现有技术相比,本发明提供了一种表压力传感器用气流变向的防护结构,具备以下有益效果:
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