[发明专利]气体感测设备

说明书

本发明涉及一种气体感测设备，包含气体感测装置，及与所述气体感测装置间隔设置的发光件。所述气体感测装置包括用来与待测气体作用且包括有机半导体材料的光及气体感测件、连接所述光及气体感测件的第一电极，及与所述第一电极间隔设置且连接所述光及气体感测件的第二电极。所述发光件在所述光及气体感测件与所述待测气体作用后用来提供朝向所述光及气体感测件照射且能够被所述光及气体感测件吸收的光。

技术领域

本发明涉及一种感测设备，特别是涉及一种气体感测设备。

背景技术

以往气体感测器中由无机半导体材料所形成的气体感测膜感测气体后，利用氮气、空气，加热(例如红外光)等方式，将感测后产生的电流值恢复至感测前的电流值，以进行下一次的感测。然而，所述方式存在有(1)恢复的时间过长；(2)当给予恢复的时间不足时，会导致下一次感测后产生的电流信号减小而不明显或电流信号的变异随着使用次数增加而增加，以至于重复性差或无法再使用。

Nano letters,2003,vol.3,NO.7,929-933揭示一种气体感测器，能够在室温下感测气体或有机挥发物，且以纳米碳管作为感测膜。所述气体感测器可利用UV光促使气体脱附(desorption)，以使感测后产生的电流值恢复至感测前的电流值，而达到减少恢复时间的特性。

一篇“单根氧化锌纳米线一氧化氮气体感测器制作与吸附动力学研究,郑宜骅”的学术论文揭示一种气体感测器，可在室温下感测气体，且以氧化锌纳米线作为感测膜。所述气体感测器可利用日光灯照射感测膜，以使感测后产生的电流值恢复至感测前的电流值，且相较于UV光，方便且恢复快速。

美国专利公告第5448906号揭示一种能够在室温下感测气体的气体感测器。所述气体感测器包括一个用来待测气体的多晶半导体氧化物薄膜、两个连接所述多晶半导体氧化物薄膜且分别位于所述多晶半导体氧化物薄膜的上方左右两侧的电极，及一个位于所述多晶半导体氧化物薄膜上方的UV灯。所述UV灯所提供的光源能够被所述多晶半导体氧化物薄膜吸收，而使被吸附的待测气体能在所述多晶半导体氧化物薄膜上进行光脱附(photodesorption)。

虽然上述的气体感测器能够通过日光灯及UV灯让待测气体脱离无机半导体膜，以使感测后产生的电流值恢复至感测前的电流值，但恢复的时间仍过长，且在恢复的过程中，电流值的改变是缓慢的。

发明内容

本发明的目的是在提供一种具有短的电流恢复时间的气体感测设备。

本发明的气体感测设备，包含气体感测装置，及与所述气体感测装置间隔设置的发光件。所述气体感测装置包括用来与待测气体作用且包括有机半导体材料的光及气体感测件、连接所述光及气体感测件的第一电极，及与所述第一电极间隔设置且连接所述光及气体感测件的第二电极。所述发光件用来提供朝向所述光及气体感测件照射且能够被所述光及气体感测件吸收的光。

在本发明的气体感测设备中，所述发光件为紫外光灯或可见光灯。

在本发明的气体感测设备中，所述光及气体感测件位于所述第一电极层及所述第二电极层间，且所述第一电极层具有供所述发光件的光通过而与所述光及气体感测件接触的至少一个贯孔。

在本发明的气体感测设备中，所述第一电极层具有至少一个贯孔；所述气体感测装置还包括位于所述第一电极层及所述第二电极层间且连接所述第一电极层及所述第二电极层的介电层，所述介电层具有与所述至少一个贯孔连通的至少一个穿孔；所述光及气体感测件与所述介电层分别位于所述第一电极层的两个相反设置的表面，且所述光及气体感测件连接所述第一电极层的表面并延伸进入所述第一电极层的所述至少一个贯孔及所述介电层的所述至少一个穿孔，而连接所述第二电极层。