[发明专利]一种碳化硅器件单粒子效应的检测系统及方法有效

专利信息
申请号: 201911158149.1 申请日: 2019-11-22
公开(公告)号: CN111025110B 公开(公告)日: 2023-02-03
发明(设计)人: 王贺;于庆奎;曹爽;刘艳秋;汪悦;张红旗;张大宇;梅博;孙毅;李晓亮;吕贺 申请(专利权)人: 中国空间技术研究院
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R31/265;G01R31/303
代理公司: 中国航天科技专利中心 11009 代理人: 陈鹏
地址: 100194 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 碳化硅 器件 粒子 效应 检测 系统 方法
【权利要求书】:

1.一种碳化硅器件单粒子效应的检测系统,其特征在于,包括:计算机、高阻表、BNC转接装置、检测装置、第一DB9转接装置、保护装置、直流源、第二DB9转接装置和真空罐,所述BNC转接装置设置于所述真空罐之上,其中,

所述计算机分别与所述高阻表、所述直流源和所述第二DB9转接装置连接;

所述高阻表的高压输出High端口与所述BNC转接装置连接;

所述直流源的电压输出端口与所述第二DB9转接装置连接;

所述BNC转接装置、所述第二DB9转接装置和所述第一DB9转接装置分别与所述检测装置连接;

所述第一DB9转接装置和所述高阻表上的仪表输入High端口分别与所述保护装置连接;

所述高阻表的高压输出Low端口与所述高阻表上的仪表输入Low端口内部连接;

所述检测装置置于所述真空罐内,粒子束流通过加速器管道输送至所述检测装置上的辐照区域;

所述检测装置包括:高压源输入接口、漏电流输出接口、供电与通信接口、继电器矩阵、碳化硅器件矩阵、供电电路、通信电路、继电器控制电路和继电器驱动电路,其中,

所述高压源输入接口与所述继电器矩阵的公共输入端连接;

所述继电器矩阵的独立输出端与所述碳化硅器件矩阵的独立输入端连接;

所述碳化硅器件矩阵的独立输出端与所述漏电流输出接口的独立端口连接;

所述供电与通信接口分别与所述供电电路和所述通信电路连接;

所述通信电路与所述继电器控制电路连接;

所述继电器控制电路与所述继电器驱动电路连接;

所述继电器驱动电路的独立输出端与所述继电器矩阵的独立控制端连接;

所述供电电路可以为所述继电器矩阵、所述通信电路、所述继电器控制电路和所述继电器驱动电路供电;

所述保护装置包括:漏电流输出接口、跳线矩阵和漏电流输出接口,其中,

所述漏电流输出接口与所述跳线矩阵的独立输入接口连接;

所述跳线矩阵的公共输出端口与所述漏电流输出接口连接;

所述系统还包括:安装结构,所述安装结构包括:垂直转接板、试验夹具和碳化硅器件,其中,

在进行碳化硅器件单粒子效应的检测过程中,所述检测装置安装于所述真空罐中,且所述检测装置与地面垂直,所述碳化硅器件的芯片平面与所述检测装置相互平行;

所述垂直转接板与所述检测装置通过90度连接器垂直安装;

所述试验夹具垂直安装于所述垂直转接板之上;

所述碳化硅器件安装于所述试验夹具中;

所述计算机通过总线与所述高阻表和所述直流源连接;所述总线为通用接口总线、通用串行总线和LAN总线中的任一种;

所述计算机通过BNC线缆与所述第二DB9转接装置连接;

所述高压输出High端口通过同轴卡扣配合型连接器与所述BNC转接装置连接;

所述BNC转接装置通过同轴BNC线缆与所述检测装置连接;

所述第二DB9转接装置通过DB9线缆与所述检测装置连接;

所述检测装置通过DB9线缆与所述第一DB9转接装置连接;

所述第一DB9转接装置通过DB9线缆与所述保护装置连接;

所述保护装置通过BNC同轴线缆与所述高阻表的仪表输入High端口连接;

所述高阻表的高压输出Low端口与仪表输入Low端口,通过所述高阻表内部开关连接。

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