[发明专利]一种超精密金属机械零部件的加工方法

权利要求书

1.一种超精密金属机械零部件的加工方法，其特征在于，步骤如下：

(1)、将需要加工的原件放置入精密机床加工位；

(2)、车床主轴采用较高回转精度，转动平稳，无振动；

(3)、对加工空间和机床自身进行恒温处理，保证加工区的温度变化极小；外部隔振系统对机床进行防振处理；通过空气净化装置对空气中尘埃进行净化；

(4)、车床内部工作台采用精度高的导轨；

(5)、配置精密测量技术：采用非接触测量方式，以干涉法和高灵敏度电动测微技术为基础；

(6)、采用金刚石精密车削加工方式，保持切削过程中连续性和稳定性；

(7)、采用较高的刀具进给精度：通过弹性变形式和电致伸缩式微量进给机构，可自动化控制，有动态特性；

(8)、启动车床进行加工，进行微量切削，完成加工。

2.根据权利要求1所述的一种超精密金属机械零部件的加工方法，其特征在于，所述步骤(4)中，车床内部工作台采用精度高的导轨，为滚动导轨、液体静压导轨、气浮导轨、空气静压导轨。

3.根据权利要求1所述的一种超精密金属机械零部件的加工方法，其特征在于，所述步骤(5)中，采用非接触测量方式，以干涉法和高灵敏度电动测微技术为基础，为激光干涉仪、多次光波干涉显微镜及重复反射干涉仪和隧道扫描显微镜。

4.根据权利要求1所述的一种超精密金属机械零部件的加工方法，其特征在于，所述步骤(2)中，车床主轴采用较高回转精度，转动平稳，无振动，如超精密的滚动轴承、液体静压轴承和空气静音轴承。