[发明专利]一种多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法

权利要求书

1.一种多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，以测试面为基准建立坐标系：以斐索型激光干涉仪的光轴发射的相反方向为z轴，垂直地面向上为y轴，而x轴、y轴、z轴构成拇指沿光轴反方向的右手坐标系；采用斐索型激光干涉仪，球面B作为参考面，球面A作为测试面，进行一次干涉测量，得到相对面形M₁；

步骤2，将球面B作为参考面，沿着z轴方向球面A逆时针绕轴旋转90度后作为测试面，进行一次干涉测量，得到相对面形M₂；

步骤3，将球面B换为球面C，球面C作为参考面，沿着z轴方向将球面A顺时针绕轴旋转90度即保持第一次测量时的位置作为测试面，进行一次干涉测量，得到相对面形M₃；

步骤4，将球面A换为球面B，球面C作为参考面，球面B作为测试面，进行一次干涉测量，得到相对面形M₄；

步骤5，综合步骤1～4的测量结果，利用奇偶函数分解和Fourier级数选频方法，分解得到球面A、B、C的奇偶函数各项，最终确定球面A、B、C各自的绝对面形分布。

2.根据权利要求1所述的多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法，其特征在于，步骤1所述采用斐索型激光干涉仪，球面B作为参考面，球面A作为测试面，进行一次干涉测量，得到相对面形M₁，公式如下：

M₁＝W_s+[B(x,y)]^T+[A(x,y)]¹⁸⁰ (1)

式中，A(x,y)表示球面A的面形误差，B(x,y)表示球面B面形误差，W_s表示系统误差，[·]^T表示沿y轴对面形误差B(x,y)进行镜像反转，[·]¹⁸⁰表示沿z轴对面形误差A(x,y)进行180度旋转运算。

3.根据权利要求1所述的多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法，其特征在于，步骤2所述将球面B作为参考面，沿着z轴方向球面A逆时针绕轴旋转90度后作为测试面，进行一次干涉测量，得到相对面形M₂，公式如下：

M₂＝W_s+[B(x,y)]^T+[A(x,y)⁹⁰]¹⁸⁰ (2)

式中，A(x,y)⁹⁰表示逆时针绕z轴旋转90度后球面A的面形误差，B(x,y)表示球面B面形误差，W_s表示系统误差，[·]^T表示沿y轴对面形误差B(x,y)进行镜像反转，[·]¹⁸⁰表示沿z轴对面形误差A(x,y)⁹⁰进行180度旋转运算。

4.根据权利要求1所述的多个球面标准镜头同步测量的绝对检验方法，其特征在于，步骤3所述球面C作为参考面，沿着z轴方向将球面A顺时针绕轴旋转90度即保持第一次测量时的位置作为测试面，进行一次干涉测量，得到相对面形M₃，公式如下：

M₃＝W_s+[C(x,y)]^T+[A(x,y)]¹⁸⁰ (3)

式中，A(x,y)表示球面A的面形误差，C(x,y)表示球面C面形误差，W_s表示系统误差，[·]^T表示沿y轴对面形误差C(x,y)进行镜像反转，[·]¹⁸⁰表示沿z轴对面形误差A(x,y)进行180度旋转运算。