[发明专利]一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺

说明书

本发明涉及一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺，包括压力显示器本体，还包括设置在压力显示器本体的压力检测端上用于实现流体的超洁净输送以供压力显示器本体检测的密封体，压力显示器本体通过与该密封体一体式连接后接在流体管道上。本发明通过将螺纹连接方式改为与压力显示器本体一体式连接来实现管路的密封严实；每个零部件需要精密的去油清洗、纯净水清洗、超声波加热再用纯净水清洗、加热纯净水漂洗、干燥洁净压缩空气加热烘干零部件再进入洁净组装车间，实现无油无灰无颗粒，密封级别高，体积小，洁净度高。

技术领域

本发明涉及电子压力表领域，具体是一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺。

背景技术

目前半导体行业使用的压力表，绝大部分都是无油压力表，其连接方式采用锥螺纹连接方式，但优于普通工业级的锥螺压力表，因为其制造工艺的后道工序都是在洁净的环境中，包括组装测试检测、包装、出货，但是实际现场连接到的半导体级别管路均为洁净式超洁净管道，完全不同于现有的工业级或医疗级的洁净范畴，是超洁净环境用锥螺纹连接式的压力表是需要用生料带缠绕螺纹口后拧紧的方式，此方式明显无法完全阻隔生料带对于洁净管道内的二次污染。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提出一种一体式电子级超洁净压力显示器及其清洁处理工艺。

一种一体式电子级超洁净压力显示器，包括压力显示器本体，还包括设置在压力显示器本体的压力检测端上用于实现流体的超洁净输送以供压力显示器本体检测的密封体，所述的压力显示器本体通过与该密封体一体式连接后接在流体管道上。

所述的压力显示器本体为压力显示器或压力变送器。

所述的密封体为金属面的VCR接头。

所述的密封体为包括与压力显示器本体连接的螺母、设置在压力显示器本体与螺母之间用于保证密封性的后卡箍和前卡箍。

所述的密封体为设置在压力显示器本体上的空心管。

一种一体式电子级超洁净压力显示器的清洁处理工艺，其具体步骤如下：

S1：对密封体通过纯净水加热清洗；

S2：对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；

S3：再次对密封体通过纯净水加热清洗；

S4：再次对密封体通过纯净水加热进行超声波清洗；

S5：通过烘干机对密封体加热吹扫；

S6：在洁净室对密封体、压力显示器本体进行组装、标定及包装。

本发明的有益效果是：本发明通过将螺纹连接方式改为与压力显示器本体一体式连接来实现管路的密封严实，避免因传统螺纹方式连接导致密封不好而出现泄露现象的发生；与传统方式制造工艺不同，每个零部件需要精密的去油清洗、纯净水清洗、超声波加热再用纯净水清洗、加热纯净水漂洗、干燥洁净压缩空气加热烘干零部件再进入洁净组装车间，实现无油无灰无颗粒，密封级别高，体积小，洁净度高。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1为本发明的采用后卡箍和前卡箍结构示意图一；

图2为本发明的实采用后卡箍和前卡箍结构示意图二；

图3为本发明的采用空心管结构示意图；

图4为本发明的采用金属面的VCR接头结构示意图一；

图5为本发明的采用金属面的VCR接头结构示意图二；

图6为本发明的采用金属面的VCR接头结构示意图三；