[发明专利]一种行星转动装置及能实现大批量生产的镀膜设备有效
申请号: | 201911161603.9 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN110846634B | 公开(公告)日: | 2022-03-29 |
发明(设计)人: | 柳存定;黎明;郭丽娜 | 申请(专利权)人: | 中国科学院光电技术研究所 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610209 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 行星 转动 装置 实现 大批量 生产 镀膜 设备 | ||
1.一种行星转动装置,其特征在于,包括多个工件吊盘和第一传动机构,其中,各工件吊盘分别与所述第一传动机构相连,所述第一传动机构用于驱动各工件吊盘同步自转;
所述第一传动机构包括主传动连接轴、设置于主传动连接轴的主传动齿轮、从动连接轴、设置于从动连接轴的从动齿轮,其中,所述工件吊盘分别固定于所述从动连接轴的下端,各从动齿轮分别与所述主传动齿轮相啮合;
所述第一传动机构包括多个从动连接轴,所述多个从动连接轴上分别设置有一个从动齿轮和一个工件吊盘,多个从动齿轮分别与所述设置于主传动连接轴的主传动齿轮相啮合;
还包括用于设置所述第一传动机构支撑件,所述支撑件包括设置的支撑架,及与所述支撑架相连、并垂直设置的若干连接杆,各从动连接轴分别通过轴承固定于支撑架上,所述连接杆用于连接行星转盘;
所述行星转盘包括环形支撑板及沿环形支撑板圆周方向均匀分布的若干支耳,且支耳的数目与所述支撑件的数目相同,支耳分别用于连接各支撑件;
支撑件包括设置的支撑架,及与所述支撑架相连、并垂直设置的若干连接杆,各从动连接轴分别通过轴承固定于所述支撑架,所述连接杆用于连接行星转盘;支撑架用于支撑第一传动机构中的各部件,连接杆用于实现支撑架与行星转盘的连接,既可以实现支撑件的固定,又便于安装和拆卸;支撑架采用的是圆形板,支撑架上设置有六个用于安装轴承的支撑筒,六个支撑筒分别沿支撑架中心轴线的圆周方向均匀分布,各从动连接轴分别穿过对应的支撑筒,并分别与设置于支撑筒内的轴承构成过渡配合,轴承外圈的上下端分别设置有轴承垫圈,并通过孔卡簧锁紧轴承垫圈和轴承,从而实现对从动连接轴的固定;从动齿轮分别设置于从动连接轴的上端,并通过平键进行定位,通过轴卡簧进行锁紧;工件吊盘通过螺栓固定于从动连接轴的下端,且工件吊盘的中心轴线与从动连接轴的中心轴线共轴;主传动连接轴设置于支撑架的中心轴线位置处,且主传动齿轮设置于主传动连接轴的下端,并分别与六个从动齿轮形成外啮合,主传动连接轴用于连接行星转盘,以便获得实现自转的动力。
2.根据权利要求1所述的行星转动装置,其特征在于,所述第一传动机构为齿轮传动结构、带传动机构、链传动机构或蜗轮蜗杆传动机构中的一种或多种的组合。
3.根据权利要求2所述的行星转动装置,其特征在于,还包括第二传动机构,所述第二传动机构分别与若干所述第一传动机构相连,第二传动机构用于驱动各第一传动机构同步自转和/或公转。
4.根据权利要求3所述的行星转动装置,其特征在于,第二传动机构包括行星转盘和齿轮传动机构,其中,各支撑件分别固定于所述行星转盘,行星转盘用于在电机的驱动下转动,齿轮传动机构与主传动连接轴相连,用于在行星转盘转动时,驱动各工件吊盘自转。
5.根据权利要求3所述的行星转动装置,其特征在于,所述齿轮传动机构包括固定于机架的主齿轮、固定于各主传动连接轴的副齿轮,各副齿轮分别与所述主齿轮相啮合。
6.一种能实现大批量生产的镀膜设备,其特征在于,包括权利要求1-5任一所述行星转动装置。
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