[发明专利]成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造装置和制造方法

权利要求书

1.一种成膜装置，是用于在基板上隔着掩模对成膜材料进行成膜的成膜装置，其特征在于，

该成膜装置具备：

真空容器；

基板保持单元，设置在所述真空容器内，用于保持基板；

掩模支承单元，设置在所述真空容器内，用于支承掩模；

对准照相机单元，设置于所述真空容器的大气侧，具有用于测量基板与掩模的相对的位置关系的对准照相机；以及

成膜源，设置在所述真空容器内，用于收纳成膜材料并将所述成膜材料粒子化而放出，

所述对准照相机以向所述真空容器的内侧突出的方式设置。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述真空容器具备以从该真空容器的容器壁向该真空容器的内侧突出的方式设置于所述容器壁的真空对应筒，

所述对准照相机被配置成插入所述真空对应筒的大气侧。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述真空对应筒被设置成，其前端位于所述真空容器的所述容器壁与所述基板保持单元之间。

4.根据权利要求2或3所述的成膜装置，其特征在于，

该成膜装置具备用于调整所述基板保持单元的位置的对准载置台机构，

所述对准载置台机构具有以固定于所述真空容器的方式设置的第1板部、和以能够相对于该第1板部移动的方式设置的第2板部，所述真空对应筒被设置成，其前端位于所述第1板部与所述第2板部之间。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述真空对应筒具备设置于所述真空容器的所述容器壁的侧壁部和由透明的材质构成的前端部。

6.根据权利要求5所述的成膜装置，其特征在于，

所述真空对应筒具备将所述侧壁部与所述前端部连结的连结部，

所述连结部将所述侧壁部与所述前端部之间的间隙密封。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述对准照相机单元具备照相机调整载置台部，该照相机调整载置台部能够使所述对准照相机相对于所述真空容器相对地移动。

8.根据权利要求7所述的成膜装置，其特征在于，

所述照相机调整载置台部能够使所述对准照相机在从所述真空容器的容器壁朝向所述基板保持单元的方向上移动。

9.根据权利要求7或8所述的成膜装置，其特征在于，

所述照相机调整载置台部能够使所述对准照相机移动，以变更所述对准照相机相对于所述真空容器的容器壁的角度。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述对准照相机单元具有设置在所述照相机调整载置台部与所述真空容器之间的减振架台。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述对准照相机单元具有隔着所述基板保持单元而设置在所述对准照相机的相反侧的照明部件。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述基板是硅晶圆。

13.一种电子器件的制造装置，其特征在于，

具备：

权利要求1～12中任一项所述的成膜装置；

用于收纳掩模的掩模储存装置；以及

用于搬送基板和掩模中的至少任一方的搬送装置。