[发明专利]使用电子显微镜对样品成像的方法

权利要求书

1. 一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用所述电子束照射所述样品的光学元件，所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品，所述方法包括：

- 通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，以读出速度将所述图像记录在相机上，其中在获取所述系列倾斜的图像的同时连续地改变所述倾斜角；及

- 在获取所述倾斜系列的同时改变所述样品的位置，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的独特位置获取每个图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中改变所述位置包括增加所述样品的成像部分。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述位置是通过所述样品与所述电子束之间的相对运动而改变的。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述样品的所述位置通过相对于所述电子束机械地移动所述样品而连续地改变。

5. 一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用电子束照射所述样品的光学元件，所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品，所述方法包括：

- 通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，以读出速度将所述图像记录在相机上，其中在获取所述系列倾斜的图像的同时连续地改变所述倾斜角；及

- 在获取所述系列倾斜的图像的同时改变所述样品的另一倾斜角，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的另一独特倾斜角获取每个图像。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述另一倾斜角相对于所述倾斜角正交。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述样品在像素化相机上成像，且以度每秒表示的所述倾斜角的速度、分别以米每秒或度每秒表示的位置或另一倾斜角的所述分别并行改变的速度和以帧每秒表示的所述相机的所述读出速度相匹配，使得在一个帧期间由于倾斜变化而导致的所述图像的位移小于一个像素。

8. 根据前述权利要求中的任一项所述的方法，其中使用了所述样品的频闪照明。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中

相对于彼此应用形成倾斜系列的图像的位移和/或旋转校正。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述位移和/或旋转校是基于以下内容中的一个或多个：

- 使用来自多于两个图像的数据同时校正多个图像的相对位置的算法；

- 基于使用两个图像的数据的算法的成对校正；

- 图像中一个或多个标记的位置。

11.一种被配备用于对样品成像的电子显微镜，所述电子显微镜包括：

- 电子源，其配置成沿所述电子显微镜的光轴产生电子束；

- 样品固持器；

- 用于获取图像的相机系统；和

- 可编程控制器，其配置成控制所述样品固持器和所述相机系统，其中所述可编程控制器被编程为控制所述样品固持器和所述相机系统，使得在所述样品固持器连续倾斜时所述相机能够获取所述样品固持器上的样品的一系列倾斜的图像，且在获取所述倾斜系列的同时改变样品位置，使得以相关联独特倾斜角和相关联独特位置获取每个图像。