[发明专利]缺陷检测方法和装置、存储介质在审
申请号: | 201911165457.7 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN111007086A | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 胡婷平 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/956 | 分类号: | G01N21/956;G06T7/00;G06T7/11 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 娜拉 |
地址: | 230037 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 缺陷 检测 方法 装置 存储 介质 | ||
1.一种缺陷检测方法,其特征在于,所述方法包括:
获取待测电子器件在N种光源下的N个灰度图像,其中,第i种光源下形成第i个灰度图像,N为大于等于2的整数,i为正整数,i≦N;
获取所述第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息;
根据所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息,确定所述第i个灰度图像中所述缺陷的缺陷类型;
根据第1个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型至第N个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型,得到所述待测电子器件的缺陷汇总结果。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取所述第i个灰度图像中的缺陷占用的像素信息形成第i个缺陷位置信息,包括:
设置所述第i个灰度图像的灰阶值参考范围,识别所述第i个灰度图像中不在所述灰阶值参考范围内的像素信息;
将不在所述灰阶值参考范围内的像素信息,作为所述缺陷在所述第i个灰度图像中占用的像素信息;
根据所述缺陷在所述第i个灰度图像中占用的像素信息,得到所述缺陷在所述第i个灰度图像中的第i个缺陷位置信息。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息及第i个缺陷位置信息,确定所述第i个灰度图像中所述缺陷的缺陷类型,包括:
获取所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息,并获取所述第i个灰度图像中缺陷的灰阶值信息;
根据所述第i个灰度图像的各线路的线路位置信息与所述第i个缺陷位置信息的位置关系及所述缺陷的灰阶值信息,确定所述第i个灰度图像中所述缺陷的缺陷类型。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
获取待测电子器件的各线路在所述第i个灰度图像中占用的像素信息;
根据所述各线路在所述第i个灰度图像中占用的像素信息,设置所述各线路在所述第i个灰度图像中的线路位置信息。
5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
预先设置所述位置关系、所述缺陷的灰阶值信息、所述缺陷类型三者之间的对应关系。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,
所述第i个缺陷位置信息与所述各线路中的第一线路及第二线路的线路位置信息的位置关系均为相交关系,且所述第i个缺陷位置信息内的像素灰阶值属于第一预设范围,则对应的所述缺陷类型为短路;
和/或,
所述第i个缺陷位置信息将所述线路位置信息对应的区域分割为至少两个区域,且所述第i个缺陷位置信息内的像素灰阶值属于第二预设范围,则对应的所述缺陷类型为断路。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述根据第1个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型至第N个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型,得到所述待测电子器件的缺陷汇总结果,包括:
统计第1个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型至第N个所述灰度图像中所述缺陷对应的缺陷类型;
判断同一个位置的缺陷在所述N个灰度图像中对应的缺陷类型是否相同;
若部分相同,则确定每种缺陷类型对应的数量,将对应的数量最大的缺陷类型,作为所述同一个位置的缺陷对应的缺陷类型。
8.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述缺陷汇总结果包括所述待测电子器件的存在的缺陷类型及每个所述缺陷类型对应的缺陷位置信息。
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