[发明专利]一种基于压电双模态谐振器的双通带滤波器

权利要求书

1.一种基于压电双模态谐振器的双通带滤波器，其特征是，包括至少一个串联压电双模态谐振器和至少一个并联压电双模态谐振器；串联压电双模态谐振器和并联压电双模态谐振器具有厚度纵向模态和厚度剪切模态两种模态；串联压电双模态谐振器的厚度剪切模态和并联压电双模态谐振器的厚度剪切模态形成第一单通带滤波器；串联压电双模态谐振器的厚度纵向模态和并联压电双模态谐振器的厚度纵向模态形成第二单通带滤波器。

2.如权利要求1所述的一种基于压电双模态谐振器的双通带滤波器，其特征是，串联压电双模态谐振器和并联压电双模态谐振器均包括衬底、空腔、底电极、压电体和上电极。

3.如权利要求1所述的一种基于压电双模态谐振器的双通带滤波器，其特征是，并联压电双模态谐振器还包括质量负载层。

4.如权利要求2所述的一种基于压电双模态谐振器的双通带滤波器，其特征是，压电体为c轴倾斜的ZnO、AlN、LiNbO3或LiTaO3压电薄膜。

5.如权利要求4所述的一种基于压电双模态谐振器的双通带滤波器，其特征是，串联压电双模态谐振器厚度纵向模态和厚度剪切模态的谐振频率由谐振器的厚度和压电体的c轴倾斜角共同确定。

6.如权利要求1或2所述的一种基于压电双模态谐振器的双通带滤波器，其特征是，串联压电双模态谐振器和并联压电双模态谐振器为薄膜体声波谐振器或者固态装配型谐振器。