[发明专利]一种体声波谐振器的制备方法

权利要求书

1.一种体声波谐振器的制备方法，其特征在于，包括：

提供压电衬底，在所述压电衬底上进行离子注入形成具有缺陷层连接的第一衬底和第二衬底；

在所述第一衬底上形成金属电极，并图形化所述金属电极形成底部电极；将具有所述底部电极的所述压电衬底一表面键合到带有预置空腔的支撑衬底上，所述底部电极均位于所述空腔内；

剥离所述压电衬底的所述第二衬底；

减薄所述第一衬底至所需厚度；

于远离所述底部电极的第一衬底一面上形成顶部电极。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述在所述压电衬底上进行离子注入形成具有缺陷层连接的第一衬底和第二衬底包括：

向所述压电衬底进行He⁺离子注入；以在所述压电衬底内形成缺陷；所述缺陷靠近于注入面。

3.根据权利要求2所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述压电衬底选材为铌酸锂或钽酸锂。

4.根据权利要求1所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述图形化所述金属电极形成底部电极，包括：

刻蚀多余部分的所述金属电极进行图形化形成平板电极；或者，

刻蚀多余部分的所述金属电极进行图形化形成叉指电极。

5.根据权利要求4所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述底部电极选材为Al、Mo、Au、Ag、Ni、Pt或Cu。

6.根据权利要求1所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述支撑衬底选材为Si或者在所述支撑衬底表面还具有一层SiO₂薄膜。

7.根据权利要求1所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述剥离所述压电衬底的所述第二衬底，包括：

将键合后的样品进行热处理；以使所述缺陷层自动断裂；

脱落所述压电衬底的所述第二衬底。

8.根据权利要求1所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述减薄所述第一衬底至所需厚度包括：

通过化学机械研磨的方式减薄和抛光所述第一衬底上远离所述底部电极的一面，其中，减薄后的所述第一衬底的厚度范围为400nm～2000nm。

9.根据权利要求1所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述于远离所述底部电极的压电衬底一面上形成顶部电极包括：

通过沉积和刻蚀的方法于远离所述底部电极的所述第一衬底一面上形成顶部电极；所述顶部电极为叉指电极并与所述底部电极对准。

10.根据权利要求9所述的体声波谐振器的制备方法，其特征在于，所述顶部电极选材为Al、Mo、Au、Ag、Ni、Pt或Cu。