[发明专利]一种柱状内置式低温泵

权利要求书

1.一种柱状内置式低温泵，其特征在于，包括接头板、泵壳(10)、环形80K外障板(11)、液氦管道(15)以及若干4.6K低温障板(13)和80K内障板(12)；所述接头板设置在泵壳(10)上，其上设有进气口(7)、液氦进口(1)、液氦出口(9)，用于向泵壳内通入待处理气体和液氦；所述环形80K外障板(11)设置在泵壳(10)内，用于屏蔽来自泵壳外的热辐射；所述环形80K外障板(11)中设置有支架，所有的80K内障板并排均布于支架的两侧，并且每片80K内障板均为人字形结构，待处理气体在各80K内障板的间隙流通并撞击80K内障板，对气体进行初步冷凝，实现高冷凝点气体的去除和难冷凝点气体的预冷；所述80K内障板(12)与环形80K外障板(11)之间设有环形连接板，所述4.6K低温障板(13)的形状为凹字型，并且内壁上涂覆有活性炭；所有的4.6K低温障板两两镜像组成一组，并均布在环形连接板上；所述液氦管道(15)依次穿过相邻4.6K低温障板的间隙，该液氦管道(15)一端连接液氦进口(1)，另一端连接液氦出口(9)，用于液氦流动，为活性炭提供冷量，使其温度降至5K以下，从而对难冷凝的气体进行连续低温捕集。

2.根据权利要求1所述的一种柱状内置式低温泵，其特征在于，所述接头板上还分别设有用于通入液氮的液氮进口(2)和排出液氮的液氮出口(8)，所述环形80K外障板(11)外部缠绕有液氮冷却管(14)，该液氮冷却管(14)一端连接液氮进口(2 )，另一端连接液氮出口(8)，用于液氮在其中流动，从而对环形80K外障板(11)进行冷却。

3.根据权利要求1所述的一种柱状内置式低温泵，其特征在于，所述接头板上还分部设有用于通入液氮的液氮进口(2)和排出液氮的液氮出口(8)，所述环形80K外障板(11)外部设置有夹层式人字形挡板，该夹层式人字形挡板一端连接液氮进口(2 )，另一端连接液氮出口(8)，用于液氮在夹层中流动，从而对环形80K外障板(11)进行冷却。

4.根据权利要求2或3所述的一种柱状内置式低温泵，其特征在于，所述4.6K低温障板(13)上还设有低温探头。

5.根据权利要求4所述的一种柱状内置式低温泵，其特征在于，所述泵壳(10)外部还设有保温层。

6.根据权利要求1所述的一种柱状内置式低温泵，其特征在于，所述活性炭通过低温胶粘合在4.6K低温障板的凹字型内壁上。

7.根据权利要求1、2、3、5或6所述的一种柱状内置式低温泵，其特征在于，所述接头板上还分别设有CF拓展接头(3)、安全阀(4)、KF拓展接头(5)、接线口(6)。

8.根据权利要求7所述的一种柱状内置式低温泵，其特征在于，所述泵壳底部设有滚轮。