[发明专利]一种钛基亚氧化钛电极的制备方法

权利要求书

1.一种钛基亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述方法采用直流溅射法在钛基底上制备二氧化钛层，再将二氧化钛层还原为亚氧化钛层，制得亚氧化钛电极；所述方法步骤如下：

（1）钛片的表面清洁：将钛片裁剪后，在砂纸上打磨15min，去除钛片表面的脏物和氧化物；后将钛片放入乙醇中超声清洗30min，然后将钛片在60℃，真空干燥2h；

（2）钛基TiO₂层电极的制备：采用气相法在钛片表面制备TiO₂层；将清洗后的钛片放在气相法装置的阳极上，阴极为纯钛；利用机械真空泵抽真空至5Pa，后通过分子泵抽真空至10^-4Pa；后加热阳极钛片至340-360℃，向装置中通入氩气，开启电源清洗阴极纯钛15min，去除阴极纯钛表面氧化物；后向装置中通入氧气，在合适的氧气与氩气流量比范围、气压范围和功率范围条件下，制备2.5-3.5 h，在阳极钛片表面制得TiO₂层；

（3）钛基Ti₄O₇层电极的制备：采用还原法将钛片表面的TiO₂层还原为Ti₄O₇层；将制备的钛基TiO₂层电极放在还原法装置阴极上，利用机械真空泵抽真空至5Pa，后向装置中通入氢气，在合适的氢气流量范围、气压范围和功率范围条件下，将阴极钛基TiO₂层还原25-35min，制得钛基Ti₄O₇层电极。

2.根据权利要求1所述的一种钛基亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述气相法为直流溅射法。

3.根据权利要求1所述的一种钛基亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述合适的氧气与氩气流量比范围为（1∶19）-（1∶13）；气压范围为0.7-0.9Pa；功率范围110-130 W。

4.根据权利要求1所述的一种钛基亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述还原法为直流等离子体还原法。

5.根据权利要求1所述的一种钛基亚氧化钛电极的制备方法，其特征在于，所述合适的氢气流量范围为180-220mL/min；气压范围为11-13kPa；功率范围为4-5kW。