[发明专利]一种老化板测试方法、电接头及老化板测试设备在审
申请号: | 201911171141.9 | 申请日: | 2019-11-26 |
公开(公告)号: | CN110837034A | 公开(公告)日: | 2020-02-25 |
发明(设计)人: | 刘振辉;沈杰 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 老化 测试 方法 接头 设备 | ||
1.一种老化板测试方法,其特征在于:电连接部沿第一方向运动因止抵于止抵部而旋转,电连接部的导电电极沿旋转方向止抵于老化板的端口。
2.根据权利要求1所述的老化板测试方法,其特征在于:电连接部旋转连接于基体,所述基体连接于直线驱动部;所述直线驱动部通过基体带动电连接部沿第一方向运动。
3.根据权利要求2所述的老化板测试方法,其特征在于:所述电连接部包括旋转挡位,所述导电电极与旋转挡位呈L形结构连接;所述旋转挡位能够沿第一方向a止抵于止抵部。
4.根据权利要求3所述的老化板测试方法,其特征在于:电连接部的旋转连接位置位于旋转挡位与导电电极之间。
5.根据权利要求3所述的老化板测试方法,其特征在于:所述导电电极通过螺钉连接于旋转挡位。
6.根据权利要求1所述的老化板测试方法,其特征在于:止抵部为连接于承载台的挡部,所述第一方向平行于承载台放置老化板的平面。
7.根据权利要求6所述的老化板测试方法,其特征在于:所述挡部能够相对于承载台沿第一方向调节。
8.根据权利要求6所述的老化板测试方法,其特征在于:所述承载台连接有预设电极,使放置于承载台上的老化板两侧分别连接于预设电极和导电电极。
9.根据权利要求6所述的老化板测试方法,其特征在于:所述老化板真空吸附于承载台。
10.根据权利要求1所述的老化板测试方法,其特征在于:所述导电电极为弹性电极。
11.根据权利要求3所述的老化板测试方法,其特征在于:所述基体连接有限位块,所述旋转挡位远离挡部的一侧止抵于限位块,使旋转挡位限位于挡部和限位块之间。
12.根据权利要求11所述的老化板测试方法,其特征在于:所述旋转挡位与限位块之间设置有支撑弹簧。
13.一种电接头,用于电连接老化板,其特征在于:
导电电极转动连接于基体,所述导电电极能够相对于基体沿第二方向旋转;导电电极连接的旋转挡位能够沿第二方向运动并止抵于基体。
14.根据权利要求13所述的电接头,其特征在于:所述旋转挡位与基体之间连接有支撑弹簧。
15.根据权利要求14所述的电接头,其特征在于:所述基体连接于直线驱动部,所述直线驱动部能够驱动基体沿第一方向运动。
16.根据权利要求13所述的电接头,其特征在于:所述导电电极为弹性电极。
17.一种老化板测试设备,其特征在于:所述老化板测试设备包括如权利要求13-16任意一项所述的电接头。
18.根据权利要求17所述的老化板测试设备,其特征在于:所述老化板测试设备还包括承载台,所述直线驱动部安装于承载台。
19.根据权利要求18所述的老化板测试设备,其特征在于:所述承载台连接有挡部,所述挡部沿第一方向正对应旋转挡位;所述旋转挡位沿第一方向运动而止抵于挡部,使导电电极沿第二方向旋转而止抵于放置在承载台上的老化板。
20.根据权利要求19所述的老化板测试设备,其特征在于:所述挡部通过螺纹连接于承载台,所述挡部螺纹的进给方向平行于第一方向。
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