[发明专利]一种针卡运输装置及探针台在审
| 申请号： | 201911172799.1 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN110850123A | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 韦日文;雷迪 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 运输 装置 探针 | ||
1.一种针卡搬运装置，其特征在于：
翻转部转动连接于第一连接部，使翻转部能够转动到第一平面；针卡连接部平面运动连接于翻转部，使针卡连接部能够相对于翻转部在第一平面中运动。
2.根据权利要求1所述的针卡搬运装置，其特征在于：
所述第一连接部沿垂直于第一平面的方向直线运动连接于基部。
3.根据权利要求1所述的的针卡搬运装置，其特征在于：
所述翻转部枢接于第一连接部，转动控制部连接于翻转部和第一连接部之间，所述转动控制部用于驱动翻转部相对于第一连接部转动并位于第一平面。
4.根据权利要求3所述的针卡搬运装置，其特征在于：
所述转动控制部为直线伸缩气缸。
5.根据权利要求1-4任意一项所述的针卡搬运装置，其特征在于：所述针卡搬运装置还包括安全保护装置；
所述安全保护装置包括支撑部、抵挡块和安全气缸；所述支撑部一端枢接于翻转部，所述支撑部远离翻转部的一端通过滑槽连接于第一连接部；所述抵挡块连接于安全气缸，所述安全气缸安装于第一连接部且使 抵挡块位于滑槽，通过所述安全气缸控制抵挡块离开所述滑槽，所述支撑部才能通过抵挡块所在滑槽的位置。
6.根据权利要求1所述的针卡搬运装置，其特征在于：所述平面运动连接包括直线运动和/或旋转运动。
7.根据权利要求6所述的针卡搬运装置，其特征在于：所述针卡连接部通过直线导轨连接于翻转部。
8.根据权利要求1所述的针卡搬运装置，其特征在于：第一连接部设置有弹性挡块，所述翻转部能够沿转动方向止抵于所述弹性挡块。
9.根据权利要求1或2所述的针卡搬运装置，其特征在于：所述第一连接部沿竖直方向连接于基部。
10.一种探针台，其特征在于：所述探针台包括权利要求1-9任意一项所述的针卡搬运装置。
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