[发明专利]分选膜放置芯粒的位置校正方法及芯粒分选方法

权利要求书

1.一种分选膜放置芯粒的位置校正方法，其特征在于：能够相对于视觉系统（20）运动的分选膜（30）设置有放置芯粒（a）的位置标记（P），位置固定的视觉系统（20）通过所述位置标记（P）确定分选膜（30）运动到放置芯粒（a）的位置。

2.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：所述位置标记（P）为多个，每个粘附芯粒（a）的位置对应至少一个位置标记（P）。

3.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：所述位置标记（P）为掩膜板（50）贴合于分选膜（30）产生的。

4.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：所述位置标记（P）为分选膜（30）上自带的位置标记（P）。

5.根据权利要求4所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：所述位置标记（P）为印制在分选膜（30）上的网格线。

6.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：分选膜（30）放置芯粒（a）的位置对应一个位置标记（P）。

7.根据权利要求1所述的分选膜放置芯粒的位置参数确定方法，其特征在于：视觉系统（20）依次扫描分选膜（30）上的位置标记（P）。

8.一种芯粒分选方法，其特征在于：分选膜（30）通过权利要求1-8任意一项所述的分选膜放置芯粒的位置校正方法到达放置芯粒（a）的位置，所述分选膜（30）沿第一运动路径抵靠于搬运部（40）上的芯粒（a），使芯粒（a）在对应位置标记（P）处粘附于分选膜（30）。

9.根据权利要求8所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述搬运部（40）能够重复到达位置（Z），使芯粒（a）能够在分选膜（30）上位置标记（P）被粘附。

10.根据权利要求9所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述搬运部（40）包括第一驱动部（41）、旋转盘（42）和多个吸嘴部（43）；

旋转盘（42）连接于所述第一驱动部（41），使所述第一驱动部（41）能够带动所述旋转盘（42）旋转；多个吸嘴部（43）沿旋转盘（42）的旋转轴（H）均匀分布于旋转盘（42）。

11.根据权利要求10所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述多个吸嘴部（43）分别连接有吸附气管（44），所述旋转盘（42）沿旋转轴（H）往复旋转。

12.根据权利要求11所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述吸嘴部（43）为两个，所述旋转盘（42）沿旋转轴（H）进行180°往复旋转。

13.根据权利要求10所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述分选膜（30）抵靠芯粒（a）后，所述吸嘴部（43）由吸附芯粒（a）切换为向芯粒（a）吹气。

14.根据权利要求8所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述第一运动路径为分选膜（30）向搬运部（40）运动的直线路径。

15.根据权利要求8所述的芯粒分选方法，其特征在于：所述分选膜（30）粘附芯粒（a）后沿第一运动路径返回而远离搬运部（40）。