[发明专利]单晶硅小片电池的制备方法有效

专利信息
申请号: 201911174269.0 申请日: 2019-11-26
公开(公告)号: CN110854238B 公开(公告)日: 2022-04-26
发明(设计)人: 任常瑞;许佳平;黄计军;方敏;符黎明 申请(专利权)人: 常州时创能源股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 单晶硅 小片 电池 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种P型PERC双面电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

(A)制备小片硅片,包括如下具体步骤:

1)将单晶硅圆棒切成可制备电池整片的长方体状硅块;该硅块包括:一对相背设置的端面,以及位于该对端面之间的四个侧面;

2)沿垂直于硅块一对端面且平行于硅块四个侧面中一个侧面的方向,将长方体状硅块切割出用于制备小片电池的长方体状小硅块;该小硅块包括一对相背设置的端面,所述小硅块的端面为硅块端面的三分之二;

3)沿平行于小硅块端面的方向,对小硅块进行切片,切割出小片硅片;

(B)将所述小片硅片制备成小片电池,包括如下具体步骤:

制绒,磷扩散,激光掺杂,背面刻蚀抛光和去PSG,热氧化退火,背面沉积叠层钝化膜以及正面沉积SiNx薄膜,背面激光开槽,丝网印刷,烧结,其中通过制绒和背面刻蚀去除小片硅片制备过程中存在的损伤层,通过热氧化退火,背面沉积叠层钝化膜以及正面沉积SiNx薄膜提供介质钝化和H钝化,降低小片电池横断面的少子复合。

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