[发明专利]一种压力传感器校准设备

权利要求书

1.一种压力传感器校准设备，其特征在于，包括：

依序设置的上料工位、常温检测工位、至少一个低温箱、低温检测工位、至少一个高温箱、高温检测工位、至少一个降温箱、复测工位、打标工位以及下料工位，所述常温检测工位、所述低温检测工位、所示高温检测工位以及所述复测工位分别包括第一检测站与第二检测站；

其中，所述第一检测站用于检测第一压力传感器，所述第二检测站用于检测第二压力传感器，所述第一压力传感器与所述第二压力传感器相异，所述第一检测站与所述第二检测站相异。

2.如权利要求1所述的压力传感器校准设备，其特征在于，所述第一压力传感器为差压压力传感器；该第二压力传感器为绝压压力传感器。

3.如权利要求1所述的压力传感器校准设备，其特征在于，还包括一个4轴机器人，其中，所述上料工位与所示下料工位共用所述一个4轴机器人。

4.如权利要求1所述的压力传感器校准设备，其特征在于，所述第一检测站包括第一探针组件、第一载具组件以及第一密封组件，所述第二检测站包括第二探针组件、第二载具组件以及第二密封组件，其中，所述第一探针组件与所述第二探针组件相异，所述第一密封组件与所述第二密封组件相异。

5.如权利要求1所述的压力传感器校准设备，其特征在于，所述至少一个低温箱的数量为3个。

6.如权利要求5所述的压力传感器校准设备，其特征在于，所述3个低温箱包括第一低温箱、第二低温箱及第三低温箱，所述第一低温箱至所述第三低温箱中的温度区间依次升高；其中，所述第一低温箱靠近所述常温检测工位，所述第三低温箱靠近所述低温检测工位。

7.如权利要求1所述的压力传感器校准设备，其特征在于，至少一个高温箱的数量为3个。

8.如权利要求7所述的压力传感器校准设备，其特征在于，所述3个高温箱包括第一高温箱、第二高温箱及第三高温箱，所述第一高温箱至所述第三高温箱中的温度区间依序降低；其中，所述第一高温箱靠近所述低温检测工位，所述第三高温箱靠近所述高温检测工位。

9.如权利要求1所述的压力传感器校准设备，其特征在于，所述低温检测工位包括低温密封箱，所述第一检测站与所述第二检测站分别设置于所述低温密封箱中。

10.如权利要求1所述的压力传感器校准设备，其特征在于，所述高温检测工位包括高温密封箱，所述第一检测站与所述第二检测站分别设置于所述高温密封箱中。