[发明专利]针对固液激光器冷却液中固态颗粒污染物的成份鉴定方法

权利要求书

1.一种针对固液激光器冷却液中固态颗粒污染物的成份鉴定方法，其特征在于，包括：

S1、收集固液激光器中冷却液中固体颗粒，对其进行干燥操作后制成待测样品薄片；

S2、利用光电子能谱仪对所述样品薄片进行光电子能谱测试，获得样品所含特定元素特征电子能级结合能信息；

S3、提取特定元素特征峰位结合能信息，进行固态颗粒污染物组成成份的分析鉴定。

2.根据权利要求1所述的成份鉴定方法，其特征在于，步骤S1中所述收集固液激光器中冷却液中固体颗粒的方式包括：

通过在固液激光器装置中冷却循环位置处增设滤网过滤获得固体颗粒物；或者

在固液激光器中零部件狭小空间处收集；或者

在固液激光器实验完成后拆解激光器分体，导出冷却液后在冷却装置系统内表面进行收集。

3.根据权利要求1或2所述的成份鉴定方法，其特征在于，步骤S1中所述干燥操作包括自然干燥或者烘干。

4.根据权利要求3所述的成份鉴定方法，其特征在于，步骤S1中所述对固体颗粒进行干燥操作后制成待测样品薄片包括：

利用压片设备对所述固体颗粒进行压缩从而制成薄片；或者

直接将所述固体颗粒均匀涂抹在碳胶上。

5.根据权利要求1所述的成份鉴定方法，其特征在于，步骤S2利用光电子能谱仪对所述样品薄片进行光电子能谱测试包括：

待测样品的粘结，将待测样品薄片牢靠地固定于样品台上；

待测样品的转移，将样品台上的待测样品薄片在真空条件下送至分析室内；

待测样品的测试过程，根据测试程序选取测试位置，打开荷电中和枪、采集测试数据直至测试结束。

6.根据权利要求5所述的成份鉴定方法，其特征在于，步骤S3提取特定元素特征峰位结合能信息进行固态颗粒污染物组成成份分析鉴定，包括：

进行谱图能量峰位校正后选择峰位区间，并计算去除背景的峰位区间面积，根据分峰拟合结果与标准谱比对得到成分信息。