[发明专利]显影装置及其显影方法

权利要求书

1.一种显影装置，其特征在于，所述显影装置包括：

晶圆载台，用于承载待显影的晶圆，并带动所述晶圆转动；

喷涂模块，包括液体涂布单元和气体吹扫单元，所述液体涂布单元用于在晶圆表面涂布液体，所述气体吹扫单元用于去除晶圆表面的液体和固体；

第一旋转电机，所述第一旋转电机的旋转轴与所述气体吹扫单元固定连接，用于带动所述气体吹扫单元转动，所述第一旋转电机的转动方向包括顺时针方向和逆时针方向。

2.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述气体吹扫单元包括至少两个气体喷管，所述至少两个气体喷管形成一端固定另一端张开的爪形结构，所述气体喷管的固定端与第一旋转电机的旋转轴固定连接。

3.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述气体喷管的中部设有伸缩件，用于调节所述气体喷管的工作长度。

4.根据权利要求3所述的显影装置，其特征在于，所述气体吹扫单元还包括喷管连接件，所述喷管连接件包括：

固定部，所述固定部的一端与所述第一旋转电机的旋转轴连接，另一端与所述气体喷管的固定端连接；

旋转臂，所述旋转臂与气体喷管一一对应，所述旋转臂的一端与所述固定部连接，另一端与相应的所述气体喷管活动连接。

5.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述旋转臂与气体喷管连接的一端设有弹性固定环，所述气体喷管穿过弹性固定环与所述旋转臂活动连接。

6.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述第一旋转电机和固定部的内部设有气体管路，用于连通所述气体喷管和气源。

7.根据权利要求4所述的显影装置，其特征在于，所述气体吹扫单元还包括：

第二旋转电机，所述第二旋转电机与气体喷管一一对应，所述第二旋转电机的外壳与所述旋转臂固定连接；

传动件，与所述第二旋转电机的旋转轴固定连接，所述传动件为圆柱形，所述传动件的弧面与相应的气体喷管贴合设置，用于控制所述气体喷管的伸缩件延伸和收缩。

8.根据权利要求7所述的显影装置，其特征在于，所述传动件的弧面上均匀设有多个第一齿状凸起；所述气体喷管靠近所述传动件的表面上均匀设有多个第二齿状凸起，所述第二齿状凸起与第一齿状凸起相互啮合形成同步转动。

9.根据权利要求2所述的显影装置，其特征在于，所述气体吹扫单元还包括中心喷管，所述中心喷管垂直朝向所述晶圆载台。

10.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述液体涂布单元设有多个液体喷口，用于喷涂不同的液体。

11.根据权利要求1所述的显影装置，其特征在于，所述晶圆载台包括第三旋转电机，用于带动所述晶圆转动。

12.一种显影方法，包括：

提供一已曝光晶圆，调节气体喷管至与所述晶圆匹配的长度；

在所述晶圆表面旋涂显影液；

吹扫所述晶圆，以去除晶圆表面的全部显影液。