[发明专利]一种线性蒸发舟

说明书

本发明公开了一种线性蒸发舟包括蒸发室、进料斗和夹持翼，所述进料斗与所述蒸发室连接且内部空间相通，所述进料斗顶部开设有进料口，所述夹持翼位于所述进料斗外且与所述进料斗连接，所述蒸发室顶部开设线性蒸发窄口，结合线性源和舟型源的优点，提高了材料利用率，蒸镀时配合基片台旋转，提高了镀膜均匀性，蒸发舟由板材直接剪切折弯而成，简化了生产工序，降低了制造成本，同时使蒸发口调节更加简单。

技术领域

本发明涉及高真空电子蒸发镀膜领域，特别是涉及一种线性蒸发舟。

背景技术

在高真空电阻蒸发镀膜领域，蒸发器皿多种多样，包括线性蒸发源、船型蒸发舟、蒸发篮加坩埚等，其中线性蒸发源均匀性好，材料利用率高，但造价昂贵，船型蒸发舟造价低廉，但蒸发均匀区较小，材料利用率低，浪费严重；蒸发篮加坩埚装料多，但极限温度低，只能蒸发低熔点材料。

发明内容

本发明的目的是提供一种线性蒸发舟，以解决上述现有技术存在的问题，提高材料利用率，提高均匀性，整体造价低廉，生产方便。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

本发明提供一种线性蒸发舟包括蒸发室、进料斗和夹持翼，所述进料斗与所述蒸发室连接且内部空间相通，所述进料斗顶部开设有进料口，所述夹持翼位于所述进料斗外且与所述进料斗连接，所述蒸发室顶部开设线性蒸发窄口。

优选地，所述蒸发室包括底板、前壁、后壁和顶板，所述底板与所述顶板平行且均水平，所述顶板包括前顶板和后顶板，所述前壁顶边与所述前顶板前边相连，所述后壁顶边与所述后顶板后边相连，所述前顶板与所述后顶板之间的夹缝即为所述线性蒸发窄口，所述前壁底边及所述后壁底边分别与所述底板的前后两边相连，所述前壁、所述底板和所述后壁的同侧边形成连通口，所述进料斗有两个，分别与所述蒸发室两侧的连通口边沿连接。

优选地，所述进料斗包括斜挡板、前挡板和后挡板，所述斜挡板底边与所述底板连接，所述斜挡板顶边与所述顶板底面位于同一水平面，所述前挡板与所述前壁及所述斜挡板连接，所述后挡板与所述后壁及所述斜挡板连接，所述前挡板顶边、所述斜底板顶边、所述后挡板顶边和所述顶板侧边形成所述进料口。

优选地，所述夹持翼有两个，每个所述夹持翼包括垂直连接板和水平夹持板，所述垂直连接板与所述斜挡板顶边连接，所述水平夹持板侧边与所述垂直连接板顶边连接。

优选地，所述线性蒸发舟由塑性板材直接剪切折弯成型。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明提供的线性蒸发舟的蒸汽出口为线性蒸发口，蒸发材料线性蒸镀，蒸汽出口更小，减少了发散浪费，提高了材料利用率，线性蒸镀配合旋转基片台，提高镀膜均匀性，结构简单，加工方便，整体造价低廉。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的线性蒸发舟轴侧图；

图2为本发明提供的线性蒸发舟主视图；

图3为图2的线性蒸发舟俯视图；

图4为板材折弯示意图；

图中：1-蒸发室、2-进料斗、3-夹持翼、4-线性蒸发窄口、5-进料口。

具体实施方式