[发明专利]原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜及其制备方法

权利要求书

1.原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S110、生长石墨烯层，采用化学气相沉积法在金属箔片表面沉积石墨烯，形成覆盖金属箔片表面的石墨烯层；

步骤S120、贴合衬底，PET柔性衬底表面涂胶，将步骤S110中金属箔片生长有石墨烯层一面贴合在PET柔性衬底上；

步骤S130、复合膜成型，在金属箔片背向所述PET柔性衬底一面的表面旋涂光致刻蚀剂，使用匀胶机涂覆，涂覆厚度在0.5～1.5um之间，而后将掩模版覆盖其上,采用湿法刻蚀工艺在金属箔片背向柔性衬底一面制备金属网格，即可得到金属网格石墨烯复合膜；

述步骤S110中，采用化学气相沉积法沉积石墨烯包括以下操作：

S111、金属箔片清洗吹干，放入化学气相沉积设备炉体中央；

S112、封闭炉体，抽真空，加热，同时通入一定量的氢气，并保持一段时间；

S113、通入一段时间的碳源气体，进行石墨烯的生长；

S114、待炉体温度降至室温后，将生长有石墨烯的金属箔片取出；

所述步骤S120中金属箔片生长有石墨烯层一面贴合在PET柔性衬底上的方法包括以下操作：

S121、PET柔性衬底卷材上料；

S122、PET柔性衬底表面涂布光刻胶；

S123、金属箔片石墨烯上料；

S124、利用橡胶辊轮辊压分布式压合方式，将PET柔性衬底涂胶面与金属箔片生长有石墨烯一面贴合在一起；

S125、辐照固化。

2.根据权利要求1所述的一种原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S130中，金属网格的成型工艺为湿法刻蚀工艺。

3.一种原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜，采用如权利要求1中所述制备方法制作而成，其特征在于，包括金属网格(1)和生长在该金属网格(1)表面的若干层石墨烯层(2)，所述金属网格(1)采用金属箔片加工而成，所述石墨烯层(3)采用化学气相沉积法生长在所述金属箔片表面。