[发明专利]一种氮化硅陶瓷覆铜基板的表面钝化方法

权利要求书

1.一种氮化硅陶瓷覆铜基板的表面钝化方法，其特征在于，在完成图形蚀刻以后进行氮化硅陶瓷覆铜基板的表面钝化，去除产品表面亲水性键合结构Si-OH，降低氮化硅表面漏电流随环境变化的漂移值；

步骤一，用1％～5％浓度氢氟酸溶液将氮化硅陶瓷覆铜基板浸泡钝化，步骤一中，浸泡钝化的时间为10～20min；

步骤二，氮化硅陶瓷覆铜基板用去离子水超声浸泡清洗；

步骤三，氮化硅陶瓷覆铜基板用异丙醇浸泡清洗；步骤三中，浸泡清洗时间为1～5min；

步骤四，将氮化硅陶瓷覆铜基板热风烘干。

2.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷覆铜基板的表面钝化方法，其特征在于：步骤一中，1％～5％浓度氢氟酸溶液采用49％的氢氟酸溶液稀释获得。

3.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷覆铜基板的表面钝化方法，其特征在于：步骤二中，浸泡清洗时间为3～5min。

4.根据权利要求1所述的一种氮化硅陶瓷覆铜基板的表面钝化方法，其特征在于：步骤四中，热风烘干的温度为80±5℃，时间5～10min。