[发明专利]激光加工装置

说明书

一种激光加工装置，用于从贴合基板的两侧同时进行加工，在该激光加工装置中，激光不会返回到激光光源。一种激光加工装置(1)，用于从贴合基板(W)的两侧同时进行加工，并具备：激光振荡器(15)、偏振分束器(37)、第一光学系统(5B)和第二光学系统(5C)。偏振分束器(37)将来自激光振荡器的激光(L)分支为第一分支光(L1)和第二分支光(L2)。偏振分束器(37)使第二分支光(L2)的偏振方向相对于第一分支光(L1)旋转规定角度。第一光学系统(5B)将第一分支光(L1)照射到基板(W)的第一面。第二光学系统(5C)将第二分支光(L2)照射到基板(W)的第二面。

技术领域

本发明涉及激光加工装置，特别是涉及用于从基板的两侧同时进行加工的激光加工装置。

背景技术

作为对玻璃基板进行划线加工的方法，已知有激光加工。在激光加工中，例如使用红外线皮秒激光。在这种情况下，已知如下方法：通过激光在平面方向断续地进行基于脉冲的内部加工来形成多个激光丝，从而形成划线(例如参照专利文献1)。

在专利文献1所示的技术中，聚焦激光束由脉冲构成，该脉冲具有为了在基板内做出丝而被选择的能量和脉冲持续时间。于是，通过沿平面方向排列形成多个丝而形成划线。

专利文献1：日本特表2013-536081号公报

在对象为贴合基板的情况下，最好同时断开两张基板的划线。贴合基板是指例如隔着密封件将形成有薄膜晶体管(TFT)的基板和形成有彩色滤光片(CF)的基板相贴合而得的母基板。通过断开该母基板而获得各个液晶面板。

进行上述加工的是激光加工装置，该激光加工装置分割从激光发生装置发出的激光，并且使它们同时照射到贴合基板的两面。

在上述构成中，将分割后的一方的激光的光学系统设为第一光学系统，将分割后的另一方的激光的光学系统设为第二光学系统。第一光学系统的激光在照射到没有贴合基板的位置的情况下、或者虽然照射到贴合基板但却通过的情况下，有可能通过第二光学系统而返回到激光发生装置。此外，第二光学系统的激光在照射到没有贴合基板的位置的情况下、或者虽然照射到贴合基板但却通过的情况下，有可能通过第一光学系统而返回到激光发生装置。如果发生上述情况，则激光发生装置会发生故障或激光振荡变得不稳定。

发明内容

本发明的目的在于，在用于从基板的两侧同时进行加工的激光加工装置中防止激光返回到激光光源。

以下，作为用于解决技术问题的手段，对多种方式进行说明。这些方式能够根据需要任意组合。

本发明的一方面涉及的激光加工装置是用于从基板的两侧同时进行加工的装置，具备：单个(单一)的激光光源、分支部、偏振方向旋转部、第一光学系统和第二光学系统。

分支部将来自激光光源的激光分支为第一分支光和第二分支光。

偏振方向旋转部使第二分支光的偏振方向相对于第一分支光旋转规定角度。

第一光学系统将第一分支光照射到基板的第一面。

第二光学系统将第二分支光照射到基板的第二面。

在该装置中，第一分支光照射到基板的第一面。通过基板附近或通过基板后的第一分支光通过第二光学系统并射入偏振方向旋转部。在这种情况下，第一分支光在偏振方向旋转部中被反射而不返回到激光光源。第二分支光照射到基板的第二面。通过基板附近或通过基板后的第二分支光通过第一光学系统并射入偏振方向旋转部。在这种情况下，第二分支光在偏振方向旋转部中被反射而不返回到激光光源。因此，在用于从基板的两侧同时进行加工的激光加工装置中，防止激光返回到激光光源。

分支部和偏振方向旋转部也可以由一个偏振分束器构成。

分支部也可以由一个非偏振分束器构成。