[发明专利]一种基片加热系统

权利要求书

1.一种基片加热系统，其特征在于：包括基片承载舟(1)和快速加热装置(2)，所述基片承载舟(1)由多个舟片(11)并排布置，相邻两个舟片(11)之间具有舟片间隙(12)，所述舟片(11)用于装载基片，每个舟片11的两面都装载基片，最外侧的两个舟片11仅内侧面上装载基片，所述快速加热装置(2)包括多列铠装电加热丝(21)，每列铠装电加热丝(21)对应一个舟片间隙(12)，各列铠装电加热丝(21)插入对应的舟片间隙(12)内；所述基片加热系统还包括移动模组(3)，所述移动模组(3)包括X轴移动模组(31)、Y轴移动模组(32)和Z轴移动模组(33)，所述快速加热装置(2)设于Y轴移动模组(32)上，所述Y轴移动模组(32)设于X轴移动模组(31)上，所述X轴移动模组(31)设于Z轴移动模组(33)上；每列铠装电加热丝(21)通过固定条(22)固定在一个平面内，所述快速加热装置(2)还包括安装基板(23)，所述安装基板(23)设有多个间隔并排布置的立板(24)，所述立板(24)的数量与铠装电加热丝(21)的组数相同，每列铠装电加热丝(21)通过安装条(25)固定在对应的立板(24)上，每列铠装电加热丝(21)相对立板(24)是悬空的。

2.根据权利要求1所述的基片加热系统，其特征在于：所述多列铠装电加热丝(21)由一根铠装电加热丝(21)呈蛇形布置形成。

3.根据权利要求1所述的基片加热系统，其特征在于：所述快速加热装置(2)沿基片承载舟(1)的长度方向分为多段，每段包括多列铠装电加热丝(21)，每段铠装电加热丝(21)形成一个温控区，每个温控区配设一温度检测元件。

4.根据权利要求3所述的基片加热系统，其特征在于：每段的多列铠装电加热丝(21)由一根铠装电加热丝(21)呈蛇形布置形成。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的基片加热系统，其特征在于：所述铠装电加热丝(21)包括金属保护管(211)、绝缘层(212)和发热体(213)组成，所述发热体(213)套于金属保护管(211)内，通过绝缘层(212)与金属保护管(211)隔开。

6.根据权利要求1所述的基片加热系统，其特征在于：所述安装条(25)与立板(24)之间通过螺栓(26)连接。

7.根据权利要求1至4任意一项所述的基片加热系统，其特征在于：所述基片加热系统还包括加热腔室，所述基片承载舟(1)位于加热腔室内，所述加热腔室具有可供快速加热装置(2)进出的出入口，所述出入口设有盖板。