[发明专利]一种线型蒸发源

权利要求书

1.一种线型蒸发源，其特征在于，包括：

蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括用于放置蒸镀材料的呈线型的坩埚本体以及设置于所述坩埚本体上的多个喷嘴，所述坩埚本体包括中间区域以及沿所述坩埚本体的延伸方向位于所述中间区域两侧的端部区域，多个所述喷嘴沿所述坩埚本体的延伸方向呈线型排列，多个所述喷嘴包括位于所述中间区域的中间喷嘴以及位于所述端部区域的端部喷嘴；

加热部，所述加热部包括第一加热器以及第二加热器，所述第一加热器设置于所述坩埚本体远离所述喷嘴一侧的周围，所述第二加热器包括加热器本体以及设置于所述加热器本体上的放热板组件，所述加热器本体设置于所述坩埚本体临近所述喷嘴一侧周围以及多个所述喷嘴周围，所述放热板组件设置于所述加热器本体朝向所述坩埚本体的表面与所述坩埚本体的两个端部区域对应的区域。

2.根据权利要求1所述的线型蒸发源，其特征在于，所述放热板组件包括至少两个沿所述喷嘴的排列方向在所述端部喷嘴的两侧相对设置的放热板。

3.根据权利要求2所述的线型蒸发源，其特征在于，所述放热板朝向所述坩埚本体的表面的宽度大于所述加热器本体朝向所述坩埚本体的表面的宽度。

4.根据权利要求2所述的线型蒸发源，其特征在于，所述放热板上形成有多个通孔，所述放热板距所述坩埚本体中间区域距离越大的部分具有的通孔的数量越少。

5.根据权利要求4所述的线型蒸发源，其特征在于，所述通孔的形状为圆形或者沿所述放热板延伸方向的条状。

6.根据权利要求2所述的线型蒸发源，其特征在于，所述放热板朝向所述坩埚本体的表面距所述坩埚本体中间区域距离越大的区域宽度越大。

7.根据权利要求2所述的线型蒸发源，其特征在于，所述放热板的材料为铝或者不锈钢。

8.根据权利要求1所述的线型蒸发源，其特征在于，所述加热器本体的材料为铬镍铁合金材质或者不锈钢材质。

9.一种如权利要求1-8任一项所述的线型蒸发源的制作方法，其特征在于，包括：

在蒸镀坩埚的坩埚本体内临近喷嘴的一侧设置多个热电偶，多个所述热电偶沿所述坩埚本体的延伸方向排列，且多个热电偶包括位于所述坩埚本体中间区域的热电偶以及位于所述坩埚本体端部区域的热电偶；

根据多个热电偶的温度测量数值确定放热板组件在加热器本体上的位置，其中，在所述加热器本体朝向所述蒸镀坩埚的表面上与所述坩埚本体的温度测量数值低的区域对应的区域设置所述放热板组件。

10.根据权利要求9所述的线型蒸发源的制作方法，其特征在于，所述放热板组件包括至少两个沿所述喷嘴的排列方向在所述端部喷嘴的两侧相对设置的放热板，所述根据多个热电偶的温度测量数值确定放热板组件在加热器本体上的位置，包括：

根据多个热电偶的温度测量数值确定所述放热板朝向所述蒸镀坩埚的表面的表面积。