[发明专利]通孔层版图生成方法以及装置

权利要求书

1.一种通孔层版图生成方法，其特征在于，包括：

接收原始的通孔层版图，所述原始的通孔层版图包括两个以上原始通孔；

根据预先设置的可行引导图形，在所述原始的通孔层版图上确定每个原始通孔对应的额外通孔的待选位置，其中，所述可行引导图形为通孔组合对应的图形；

根据所述可行引导图形的制造成本，在所述待选位置中选择所述额外通孔的最终位置；

在所述最终位置插入所述额外通孔；

将插入所述额外通孔后的通孔层版图上的所有通孔拆分到两个以上掩膜版上，获得最终的通孔层版图。

2.根据权利要求1所述的通孔层版图生成方法，其特征在于，所述通孔组合包括横向排列的两个通孔、等间距且横向排列的三个通孔、纵向排列的两个通孔、等间距且纵向排列的三个通孔、孔中心分别位于正方形四个顶点的四个通孔、与水平方向成45度角排列的两个通孔、等间距且与水平方向成45度角排列的三个通孔、与水平方向成135度角排列的两个通孔以及等间距且与水平方向成135度角排列的三个通孔。

3.根据权利要求2所述的通孔层版图生成方法，其特征在于，横向排列的两个相邻通孔之间的孔间距为所述原始通孔宽度的2倍，纵向排列的两个相邻通孔之间的孔间距为所述原始通孔宽度的2倍，与水平方向成45度角排列的两个相邻通孔之间的孔间距为所述原始通孔宽度的倍，与水平方向成135度角排列的两个相邻通孔之间的孔间距为所述原始通孔宽度的倍。

4.根据权利要求1所述的通孔层版图生成方法，其特征在于，每个原始通孔对应一个额外通孔，所述额外通孔为冗余通孔或者伪通孔。

5.根据权利要求1所述的通孔层版图生成方法，其特征在于，每个原始通孔对应两个额外通孔，所述两个额外通孔均为冗余通孔，或者所述两个额外通孔均为伪通孔，或者所述两个额外通孔包括一个冗余通孔和一个伪通孔。

6.根据权利要求1所述的通孔层版图生成方法，其特征在于，在所述最终位置插入所述额外通孔之后，还包括：

对插入所述额外通孔后的通孔层版图上的所有通孔进行分组，具有相同孔间距的通孔位于同一组，以在制造通孔时使用不同的嵌段共聚物制造不同孔间距的通孔。

7.根据权利要求1所述的通孔层版图生成方法，其特征在于，所述将插入所述额外通孔后的通孔层版图上的所有通孔拆分到两个以上掩膜版上包括：

采用图模型表示插入所述额外通孔后的通孔层版图；

将通孔拆分问题转化为精确覆盖问题，获得精确覆盖矩阵；

根据所述图模型和所述精确覆盖矩阵构建目标函数，所述目标函数用于表征未解决冲突和使用掩膜版的总成本；

求解使得所述目标函数最小的解。

8.根据权利要求7所述的通孔层版图生成方法，其特征在于，所述图模型为G＝(V,C,T)，其中，V表示通孔集合，C表示冲突边集合，T表示可行引导图形集合，所述冲突边为可以被分到同一可行引导图形中的两个通孔间的边以及孔间距小于单次曝光能分辨的最小间距但不能被分在同一可行引导图形中的两个通孔间的边。

9.根据权利要求8所述的通孔层版图生成方法，其特征在于，所述精确覆盖矩阵为2×2的矩阵，其中，通孔列表示每个通孔必须分配到一个可行引导图形中，模板列表示同一掩膜版上的可行引导图形的孔间距相同，通孔行表示通孔被分配到单孔引导图形中，模板行表示同一可行引导图形中的通孔被分配到相同的掩膜版。