[发明专利]显示面板、驱动背板及其制造方法有效
申请号: | 201911188958.7 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN110707109B | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 程磊磊;王海涛;王庆贺;刘军;李广耀;周斌 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L27/32;H01L21/77 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 王辉;阚梓瑄 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 驱动 背板 及其 制造 方法 | ||
1.一种驱动背板,其特征在于,包括:
衬底;
第一走线,设于所述衬底一侧;所述第一走线沿第一方向的直线轨迹延伸;
介电层,覆盖所述第一走线;
第二走线,设于所述介电层背离所述第一走线的表面;
所述第二走线具有向所述衬底凹陷的凹陷部,所述第一走线和所述第二走线在所述衬底上的投影在对应于所述凹陷部的区域交叉;
所述凹陷部两侧连接有第二连接部,所述第二连接部和所述凹陷部沿第二方向分布,以形成所述第二走线;
所述凹陷部为环形结构;
所述第二方向与所述第一方向垂直;所述凹陷部的厚度小于所述第二连接部。
2.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述凹陷部的厚度为200nm-500nm,所述第二连接部的厚度为600nm-1000nm。
3.根据权利要求1所述的驱动背板,其特征在于,所述驱动背板还包括薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括栅极和位于所述栅极背离所述衬底的一侧的源漏层,所述源漏层包括源极和漏极;所述第一走线与所述栅极同层设置,所述第二走线与所述源漏层同层设置。
4.一种驱动背板的制造方法,其特征在于,包括:
在衬底一侧形成第一走线;所述第一走线沿第一方向的直线轨迹延伸;
形成覆盖所述第一走线的介电层;
在所述介电层背离所述第一走线的表面形成第二走线,所述第二走线具有向所述衬底凹陷的凹陷部,所述第一走线和所述第二走线在所述衬底上的投影在对应于所述凹陷部的区域交叉;所述凹陷部为环形结构;所述第二走线还包括连接于所述凹陷部两侧的第二连接部,所述第二连接部和所述凹陷部沿第二方向分布,所述第二方向与所述第一方向垂直;所述凹陷部的厚度小于所述第二连接部。
5.根据权利要求4所述的制造方法,其特征在于,所述凹陷部与其所在的第二走线通过一次构图工艺形成。
6.一种显示面板,其特征在于,包括权利要求1-3任一项所述的驱动背板。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的