[发明专利]一种晶圆存放周转装置

权利要求书

1.一种晶圆存放周转装置，其特征在于，包括基座、闭合盖板、抵制组件和夹持组件；

所述基座具有放置槽，所述放置槽位于所述基座的一侧，并伸入所述基座的内部，所述闭合盖板与所述基座滑动连接，并与所述放置槽配合，且位于所述基座的内部，所述闭合盖板具有容纳槽和齿槽，所述容纳槽位于所述闭合盖板靠近所述基座的一侧，并朝向远离所述基座的方向伸入所述闭合盖板内，且与所述放置槽贯通，晶圆放置在所述放置槽和所述容纳槽之间，所述齿槽位于所述闭合盖板在所述容纳槽的侧壁，并朝向远离所述容纳槽的方向侧向伸入所述闭合盖板的内部，所述抵制组件与所述基座固定连接，并位于所述放置槽内，且位于所述基座靠近所述闭合盖板的一侧，所述夹持组件与所述基座转动连接，并与所述闭合盖板配合；

所述夹持组件包括夹持块和旋转构件，所述夹持块通过所述旋转构件与所述基座转动连接，并从所述放置槽的内部旋转至所述齿槽的内部，所述旋转构件与所述基座转动连接，并与所述闭合盖板配合；

所述旋转构件包括传动轴和旋转齿轮，所述传动轴与所述基座转动连接，并与所述夹持块固定连接，且贯穿所述闭合盖板，所述旋转齿轮与所述传动轴固定连接，并与所述闭合盖板旋转配合，且位于所述传动轴和所述闭合盖板之间。

2.如权利要求1所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述抵制组件包括左侧弧形块和右侧弧形块，所述左侧弧形块与所述基座固定连接，并位于所述放置槽的内部，且位于所述基座靠近所述闭合盖板的一侧，所述右侧弧形块与所述基座固定连接，并位于所述基座靠近所述闭合盖板的一侧，且位于所述基座远离所述左侧弧形块的一侧。

3.如权利要求2所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述夹持组件还包括缓冲垫片，所述缓冲垫片与所述夹持块固定连接，并位于所述夹持块朝向远离所述齿槽的一侧。

4.如权利要求3所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述夹持组件还包括抵制弹簧，所述抵制弹簧与所述闭合盖板抵接，并与所述夹持块抵接，且套设在所述传动轴的外周，所述抵制弹簧位于所述夹持块和所述闭合盖板之间。

5.如权利要求4所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述抵制组件还包括减震弹簧，所述减震弹簧与所述基座抵接，并与所述闭合盖板抵接，且位于所述基座和所述闭合盖板之间，所述减震弹簧位于所述齿槽内，并朝向所述闭合盖板滑动的方向。

6.如权利要求5所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述抵制组件还包括压缩气缸和活塞杆，所述压缩气缸与所述基座固定连接，并朝向所述减震弹簧的方向，且位于所述减震弹簧和所述基座之间；所述活塞杆与所述压缩气缸滑动连接，并与所述减震弹簧抵接，且与所述闭合盖板抵接，所述活塞杆的部分伸入所述压缩气缸的内部，并位于所述压缩气缸和所述闭合盖板之间。

7.如权利要求1所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述晶圆存放周转装置还包括转运箱和收纳组件，所述转运箱通过所述收纳组件与所述基座滑动连接，并位于所述基座的外周；所述收纳组件与所述基座固定连接，并位于所述转运箱的内部。

8.如权利要求7所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述收纳组件包括连接架和分隔板，所述连接架与所述转运箱固定连接，并与所述基座固定连接，且位于所述转运箱的内部；所述分隔板与所述连接架固定连接，并与所述连接架固定连接，且位于所述基座远离所述转运箱的一侧。

9.如权利要求8所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述闭合盖板还具有限位凹槽，所述限位凹槽位于所述闭合盖板远离所述基座的一侧，并朝向靠近所述基座的方向伸入所述闭合盖板的内部；所述收纳组件还包括限位卡扣，所述限位卡扣与所述连接架通过转轴转动连接，并与所述限位凹槽配合，对所述闭合盖板限位。

10.如权利要求9所述的晶圆存放周转装置，其特征在于，

所述收纳组件还包括抽拉把手，所述抽拉把手与所述闭合盖板固定连接，并位于所述闭合盖板靠近所述限位凹槽的一侧。