[发明专利]半导体封装及其制造方法在审
申请号: | 201911191199.X | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN111244042A | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 张智杰;蔡仲豪;余振华;王垂堂 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/66;H01L25/04 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 顾伯兴 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 封装 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】:
1.一种半导体封装,其特征在于,包括:
光子管芯,包括:
衬底,具有波导图案;及
介电层,设置在所述衬底之上;
包封体,侧向包封所述光子管芯;以及
波导结构,延伸于所述光子管芯的前侧及所述包封体的顶表面上,且贯穿所述介电层以光学耦合到所述波导图案。
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