[发明专利]一种355nm紫外光的输出方法及系统

权利要求书

1.一种355nm紫外光的输出方法，其特征在于，包括：

控制第一激光器产生激光脉冲，所述激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光和剩余的1064nm基频光；

控制第二激光器产生泵浦光，用以泵浦激光晶体；

所述剩余的1064nm基频光分别经第一双色镜和第二双色镜反射后，与所述泵浦光共同入射到经泵浦后的激光晶体；

所述剩余的1064nm基频光经激光晶体放大后照射到第三双色镜，并透射至和频晶体；

所述532nm倍频光经所述第一双色镜透射后，照射到一反射镜，并被反射至所述第三双色镜，经所述第三双色镜反射后照射至所述和频晶体，以和照射在所述和频晶体上的被放大后的剩余的1064nm基频光共同产生355nm紫外光，并输出。

2.根据权利要求1所述的355nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述泵浦激光晶体的过程为：

所述泵浦光经所述第二双色镜后入射到所述激光晶体，所述激光晶体为Nd:YVO₄晶体或Nd:YAG晶体。

3.根据权利要求2所述的355nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述第一激光器为1064nm皮秒激光器或纳秒激光器。

4.根据权利要求1-3任一项所述的355nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述第二激光器为808nm半导体泵浦激光器、878nm泵浦激光器和885nm泵浦激光器中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的355nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述倍频晶体为将1064nm光倍频至532nm光的非线性晶体。

6.根据权利要求5所述的355nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述倍频晶体为LBO晶体或BBO晶体。

7.根据权利要求1所述的355nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述剩余的1064nm基频光经所述激光晶体放大后的功率大于所述532nm倍频光的功率的二分之一。

8.根据权利要求1所述的355nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述和频晶体为可以产生355nm波长光的非线性晶体。

9.根据权利要求7所述的355nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述和频晶体为LBO晶体或者BBO晶体。

10.一种355nm紫外光的输出系统，其特征在于，所述输出系统运行所述权利要求1-9任一项所述的输出方法，以产生355nm紫外光。