[发明专利]一种阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法有效

专利信息
申请号: 201911193408.4 申请日: 2019-11-28
公开(公告)号: CN110954441B 公开(公告)日: 2022-05-13
发明(设计)人: 童哲;罗佳 申请(专利权)人: 九江德福科技股份有限公司
主分类号: G01N9/36 分类号: G01N9/36;C25D1/04
代理公司: 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 代理人: 王珂
地址: 332000 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 阴极 表面 沉积 均匀 测试 方法
【权利要求书】:

1.一种阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,包括以下步骤:

S0:校准生箔机、分切机各辊系水平,调整参数;对阴极辊进行抛磨,阴极辊表面为钛材质,离线抛磨后,表面需光滑,无色差外观缺陷;

S1:将阴极辊安装至生箔机上,启动生箔机;

S2:生箔机各性能运行正常后,收集铜箔小卷;

S3:将收好的铜箔小卷由运输小车运送至专用分切机上,所述分切机上安装有面密度测试仪,所述面密度测试仪为X射线面密度测试仪,利用X射线透射铜箔射线衰减计算面密度,横向分13个区域;

S4:按操作标准将铜箔小卷上至分切机上,并设置合适的张力;

S5:小卷在分切机上完成放卷、穿箔作业后,启动分切机和面密度测试仪,检测当前铜箔小卷的面密度;

S6:停止分切机及面密度测试仪,收集面密度检测数据并形成均匀性热力图,收集面密度检测数据包括时间、纵向米数、面密度。

2.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S2中,收集铜箔小卷的长度为100米。

3.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S3中,所述分切机为菱森分切机。

4.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S4中,将放卷张力设置为30N,将收卷张力设置为7N。

5.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S5中,将分切机的速度设置为2m/min。

6.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S5中,将面密度测试仪的扫描速度设置为0.25m/min。

7.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S6中,铜箔小卷面密度测试30米或阴极辊转动5周的长度即可停止检测。

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