[发明专利]一种阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法有效
申请号: | 201911193408.4 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN110954441B | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 童哲;罗佳 | 申请(专利权)人: | 九江德福科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N9/36 | 分类号: | G01N9/36;C25D1/04 |
代理公司: | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人: | 王珂 |
地址: | 332000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阴极 表面 沉积 均匀 测试 方法 | ||
1.一种阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,包括以下步骤:
S0:校准生箔机、分切机各辊系水平,调整参数;对阴极辊进行抛磨,阴极辊表面为钛材质,离线抛磨后,表面需光滑,无色差外观缺陷;
S1:将阴极辊安装至生箔机上,启动生箔机;
S2:生箔机各性能运行正常后,收集铜箔小卷;
S3:将收好的铜箔小卷由运输小车运送至专用分切机上,所述分切机上安装有面密度测试仪,所述面密度测试仪为X射线面密度测试仪,利用X射线透射铜箔射线衰减计算面密度,横向分13个区域;
S4:按操作标准将铜箔小卷上至分切机上,并设置合适的张力;
S5:小卷在分切机上完成放卷、穿箔作业后,启动分切机和面密度测试仪,检测当前铜箔小卷的面密度;
S6:停止分切机及面密度测试仪,收集面密度检测数据并形成均匀性热力图,收集面密度检测数据包括时间、纵向米数、面密度。
2.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S2中,收集铜箔小卷的长度为100米。
3.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S3中,所述分切机为菱森分切机。
4.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S4中,将放卷张力设置为30N,将收卷张力设置为7N。
5.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S5中,将分切机的速度设置为2m/min。
6.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S5中,将面密度测试仪的扫描速度设置为0.25m/min。
7.根据权利要求1所述的阴极辊表面铜沉积均匀性测试方法,其特征在于,在步骤S6中,铜箔小卷面密度测试30米或阴极辊转动5周的长度即可停止检测。
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