[发明专利]使用喷墨打印的蚀刻方法及用于蚀刻方法的喷墨打印机有效
申请号: | 201911194760.X | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN110760847B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 刘晓俊;覃勇;陈卫华;黄明明 | 申请(专利权)人: | 东莞市图创智能制造有限公司 |
主分类号: | C23F1/02 | 分类号: | C23F1/02;C23F1/08;C23F1/16 |
代理公司: | 成都恪睿信专利代理事务所(普通合伙) 51303 | 代理人: | 陈兴强 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 喷墨 打印 蚀刻 方法 用于 喷墨打印机 | ||
1.使用喷墨打印的蚀刻方法,其特征在于:包括如下步骤:
基材提供步骤:提供包括具有待刻蚀面的金属材料的基材;
溶剂喷涂步骤:通过喷墨打印机的第一喷射将溶剂小滴以成像图案喷射到所述待刻蚀面上,蚀刻剂喷涂步骤:通过所述喷墨打印机的第二喷射将蚀刻剂小滴以所述成像图案向所述待刻蚀面喷射以与所述溶剂混合并化学反应从而在所述待刻蚀面上形成蚀刻图案;或者
蚀刻剂喷涂步骤:通过所述喷墨打印机的第一喷射将蚀刻剂小滴以成像图案喷射到所述待刻蚀面上;溶剂喷涂步骤:通过所述喷墨打印机的第二喷射将溶剂小滴以所述成像图案向所述待刻蚀面喷射以与所述蚀刻剂混合并化学反应而在所述待刻蚀面上形成蚀刻图案;
添加剂喷涂步骤:通过所述喷墨打印机的第三喷射将添加剂小滴以所述成像图案向所述化学反应未完成的所述蚀刻剂和所述溶剂的混合物喷射;
打印头移动步骤:用于喷射所述溶剂、所述蚀刻剂和所述添加剂的喷头依次朝远离所述待刻蚀面的方向移动以对应进行所述第二喷射及所述第三喷射;其中,各移动距离均在喷墨打印机保证溶剂、蚀刻剂和添加剂以成像图案喷射至待蚀刻面上的范围之内。
2.根据权利要求1所述的蚀刻方法,其特征在于:
所述蚀刻剂包括以下的一种或多种:次氯酸或者/和次氯酸盐、高锰酸或者/和高锰酸盐、高氯酸或者/和高氯酸盐、重铬酸或者/和重铬酸盐、二价铜盐、三价铁盐、过氧化物或者/和过氧化物与酸的混合物且所述酸为无机酸或者/和有机酸、过氧化物与络合剂的混合物、包括纳米级硫磺分散液以及硫磺的溶液的硫单质、包括无机和有机多硫化物的多硫化物。
3.根据权利要求2所述的蚀刻方法,其特征在于:
所述次氯酸盐包括次氯酸钠、次氯酸钙或者次氯酸钾,所述高锰酸盐包括高锰酸钾,所述高氯酸盐包括高氯酸钠或者高氯酸钾,所述重铬酸盐包括重铬酸钾,所述二价铜盐包括醋酸铜、硝酸铜或者硫酸铜,所述三价铁盐包括硝酸铁、氯化铁或者硫酸铁,所述过氧化物包括过氧化钠、过氧化氢、有机过氧化物、过氧化钙或者过氧化钾。
4.根据权利要求1所述的蚀刻方法,其特征在于:
所述溶剂包括一元醇、二元醇、多元醇、醇醚、醚类化合物、酮类化合物、醛类化合物中的一种或多种。
5.根据权利要求4所述的蚀刻方法,其特征在于:
所述一元醇包括甲醇、乙醇或者异丙醇,所述二元醇包括乙二醇或者丙二醇,所述醇醚包括乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、丙二醇丙醚或者二甘醇乙醚。
6.根据权利要求1所述的蚀刻方法,其特征在于:
所述添加剂包括表面活性剂、消泡剂、pH调节剂、粘度调节剂、可溶性树脂中的一种或多种。
7.用于蚀刻方法的喷墨打印机,其特征在于:所述蚀刻方法为权利要求1至6任一项所述的蚀刻方法,所述喷墨打印机包括机架和控制器,所述机架用于支撑并固定所述基材,所述控制器用于控制所述喷墨打印机的喷射。
8.根据权利要求7所述的喷墨打印机,其特征在于:
所述喷墨打印机包括用于所述喷射的喷头和气液分隔膜,所述气液分隔膜邻接所述喷头设置。
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