[发明专利]化学品的循环管路流量控制系统及其控制方法在审
申请号: | 201911195167.7 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN112864044A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 沈涛 | 申请(专利权)人: | 上海新微技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;G05B19/04 |
代理公司: | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人: | 刘元霞 |
地址: | 201800 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化学品 循环 管路 流量 控制系统 及其 控制 方法 | ||
1.一种化学品的循环管路流量控制系统,包括:
存储容器,其用于存储化学品;
循环管路,其两端分别连接于所述存储容器的出口和入口,化学品能够在所述循环管路和所述存储容器中循环流动;
分配管路,其与所述循环管路连接,将所述循环管路中的部分化学品引导出所述循环管路;
压力传感器,其设置于所述循环管路,用于检测所述循环管路中化学品的压力值;
电动阀,其设置于所述循环管路,所述电动阀的开度用于调整所述循环管路中化学品的流量从而调整化学品在所述循环管路中的压力;以及
控制器,其根据所述压力传感器检测到的压力值控制所述电动阀的开度。
2.如权利要求1所述的系统,其中,所述控制器包括:
偏差值计算单元,其计算所述压力传感器检测到的压力值与预设的压力值之间的差值;以及
调整单元,其对所述差值进行比例积分微分(PID)调整,并输出控制信号,所述控制信号用于调整所述电动阀的开度。
3.如权利要求2所述的系统,其中,
当所述压力传感器检测到的压力值大于所述预设的压力值时,所述控制信号控制所述电动阀增大开度,
当所述压力传感器检测到的压力值小于所述预设的压力值时,所述控制信号控制所述电动阀减小开度。
4.如权利要求2所述的系统,其中,所述控制器还包括:
比较单元,其在所述压力传感器检测到的压力值大于阈值时,输出报警信号。
5.如权利要求2所述的系统,其中,所述控制器还包括:
切换单元,其在接收到用于指示化学品需要在所述循环管路和所述存储容器中循环流动的第一指示信号时,使得所述偏差值计算单元和所述调整单元工作以输出控制信号。
6.如权利要求5所述的系统,其中,
当所述切换单元在接收到用于指示化学品不需要在所述循环管路和所述存储容器中循环流动的第二指示信号时,输出使所述电动阀的开度达到最大值的控制信号。
7.一种化学品的循环管路流量控制系统的控制方法,所述控制系统包括:
存储容器,其用于存储化学品;
循环管路,其两端分别连接于所述存储容器的出口和入口,化学品能够在所述循环管路和所述存储容器中循环流动;
分配管路,其与所述循环管路连接,将所述循环管路中的部分化学品引导出所述循环管路;
压力传感器,其设置于所述循环管路,用于检测所述循环管路中化学品的压力值;
电动阀,其设置于所述循环管路,所述电动阀的开度用于调整所述循环管路中化学品的流量从而调整化学品在所述循环管路中的压力;以及
控制器,其控制所述电动阀的开度,
其中,所述控制方法包括:
所述控制器根据所述压力传感器检测到的压力值控制所述电动阀的开度。
8.如权利要求7所述的系统,其中,所述控制根据所述压力传感器检测到的压力控制所述电动阀的开度,包括:
计算所述压力传感器检测到的压力值与预设的压力值之间的差值;以及
对所述差值进行比例积分微分(PID)调整,并输出控制信号,所述控制信号用于调整所述电动阀的开度。
9.如权利要求8所述的系统,其中,
当所述压力传感器检测到的压力值大于所述预设的压力值时,所述控制信号控制所述电动阀增大开度,
当所述压力传感器检测到的压力值小于所述预设的压力值时,所述控制信号控制所述电动阀减小开度。
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