[发明专利]掩膜版的张网设备和张网方法在审
申请号: | 201911195364.9 | 申请日: | 2019-11-28 |
公开(公告)号: | CN110699638A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 李露露;王亚;卓林海 | 申请(专利权)人: | 云谷(固安)科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 11659 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人: | 范坤坤 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜版 张网 框架夹具 移动单元 移动机构 支撑单元 形变 夹具 夹持区域 精度降低 驱动框架 相对设置 复杂度 掩膜条 夹持 气浮 气压 预设 悬浮 保证 | ||
本发明公开了一种掩膜版的张网设备和张网方法。该张网设备包括移动机构和框架夹具;移动机构包括移动单元和支撑单元,移动单元与支撑单元连接,框架夹具固定于移动单元上,框架夹具用于夹持掩膜版框架上相对设置的夹持区域,移动机构用于驱动框架夹具产生作用于掩膜版框架上的推力,以使掩膜版框架产生预设形变;推力的方向沿第一方向朝向掩膜版框架的中心;其中,第一方向为固定于掩膜版框架上的掩膜条的长度方向。因此不会在张网结束后产生形变,从而保证了掩膜版的张网精度,进而提高了掩膜版的精度。同时简化了张网设备的复杂度,避免了气浮气压无法使掩膜版框架悬浮时,掩膜版框架与平台之间的摩擦力导致的张网精度降低的问题。
技术领域
本发明实施例涉及掩膜版制作的技术领域,尤其涉及掩膜版的张网设备和张网方法。
背景技术
随着发展,人们更加追求显示的清晰度,因此,显示面板的分辨率需要进一步的提升。但是,显示面板分辨率越高,在制作显示面板时使用的掩膜版的精度要求越高。在使用掩膜版蒸镀颜色材料时容易出现混色的问题。
发明内容
本发明提供掩膜版的张网设备和张网方法,以提高掩膜版的张网精度。
第一方面,本发明实施例提供了一种掩膜版的张网设备,包括移动机构和框架夹具;
所述移动机构包括移动单元和支撑单元,所述移动单元与所述支撑单元连接,所述框架夹具固定于所述移动单元上,所述框架夹具用于夹持掩膜版框架上相对设置的夹持区域,所述移动机构用于驱动所述框架夹具产生作用于所述掩膜版框架上的推力,以使所述掩膜版框架产生预设形变;所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心;其中,所述第一方向为固定于所述掩膜版框架上的掩膜条的长度方向。
可选地,所述框架夹具为至少三对,每对所述框架夹具分别相对设置于所述掩膜版框架的两侧;
沿第二方向,所述掩膜版框架同一侧的所述框架夹具依次排布,并且关于所述掩膜版框架上的中线对称,其中,所述第二方向为所述掩膜版框架上掩膜条的宽度方向,所述第二方向与所述第一方向垂直,所述中线与所述第一方向平行。
可选地,在所述掩膜版框架的同一侧的各所述框架夹具等间距排布。
可选地,沿所述第二方向,从所述中线向所述掩膜版框架的两侧,所述框架夹具产生作用于所述掩膜版框架上的推力依次减小。
可选地,所述框架夹具包括相对设置的第一夹件和第二夹件;所述第一夹件的一端和所述第二夹件的一端均固定在所述移动单元上,所述第一夹件的另一端和所述第二夹件的另一端在远离所述移动单元的一侧形成开口。
可选地,所述掩膜版框架包括平行设置的第一边框和第二边框;所述第一边框和所述第二边框包括相对设置的至少一对夹持区域;同一对所述夹持区域,其中一个所述夹持区域位于所述第一边框的侧面,另一个所述夹持区域位于所述第二边框的侧面;其中,所述第一边框的侧面和所述第二边框的侧面与所述第一方向垂直。
可选地,所述移动单元包括导轨,所述支撑单元包括支撑柱。
第二方面,本发明实施例还提供了一种掩膜版的张网方法,包括:
将掩膜版框架设置于张网设备,所述张网设备包括移动机构和框架夹具,所述框架夹具夹持所述掩膜版框架上相对设置的夹持区域;
控制所述移动机构驱动所述框架夹具产生作用于所述掩膜版框架的推力,以使所述掩膜版框架产生预设形变,并保持推力产生的形变不变;所述推力的方向沿第一方向朝向所述掩膜版框架的中心;其中,所述第一方向为固定于所述掩膜版框架上的掩膜条的长度方向
在所述掩膜版框架上张网各掩膜条;所述掩膜条上的拉力与所述推力大小匹配,方向相反;
控制所述移动机构驱动所述框架夹具释放作用于所述掩膜版框架的推力。
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