[发明专利]半导体设备的远程群组控制系统

权利要求书

1.一种半导体设备的远程群组控制系统，其特征在于，包括：服务器、至少一个客户端，其中，

所述至少一个客户端通过第一预设协议与所述服务器通信连接，所述服务器通过第二预设协议与至少一个半导体设备群组通信连接，所述半导体设备群组中包括至少一个半导体设备；

所述服务器用于获取所述至少一个半导体设备群组中各个半导体设备的运行状态参数，并将所述运行状态参数发送给所述至少一个客户端；

所述至少一个客户端用于显示所述运行状态参数。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述运行状态参数包括以下至少之一：设备名称、设备型号、当前运行状态、当前执行的工艺菜单名称、工艺流程状态、工艺流程时间信息、工艺参数信息。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，

所述至少一个客户端还用于响应于用户操作，向所述服务器发送数据管理指令，所述数据管理指令包括以下至少之一：数据记录配置指令、数据图形分析指令、数据对比指令；

所述服务器还用于接收所述数据管理指令，并根据所述数据管理指令对保存的所述运行状态参数进行相应的数据管理操作，并生成第一结果发送给所述至少一个客户端，其中，所述数据管理操作包括以下至少之一：对所述运行状态参数的记录方式进行配置、将所述运行状态参数转换为图形或表格、将所述运行状态参数中的部分运行状态参数与另一部分进行对比；

所述至少一个客户端还用于对所述第一结果进行存储、查询、显示中的至少一种操作。

4.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，

所述至少一个客户端还用于响应于用户操作，向所述服务器发送工艺菜单管理指令，所述工艺菜单管理指令包括以下至少之一：工艺菜单编辑指令、工艺菜单新增指令、工艺菜单删除指令、工艺菜单对比指令、工艺菜单备份指令、工艺菜单还原指令；

所述服务器还用于接收所述工艺菜单管理指令，并根据所述艺菜单管理指令对保存的工艺菜单进行相应的工艺菜单管理操作，并生成第二结果发送给所述至少一个客户端，其中，所述工艺菜单管理操作包括以下至少之一：编辑工艺菜单、新增工艺菜单、删除工艺菜单、对比至少两个工艺菜单、备份工艺菜单、基于备份的工艺菜单还原工艺菜单；

所述至少一个客户端还用于对所述第二结果进行存储、查询、显示中的至少一种操作。

5.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，

所述服务器还用于监控并保存所述至少一个半导体设备群组中各个半导体设备产生的报警信息；

所述至少一个客户端还用于响应于用户操作，向所述服务器发送报警管理指令，所述报警管理指令包括以下至少之一：报警查询指令、报警分析指令、报警处理指令；

所述服务器还用于接收所述报警管理指令，并根据所述报警管理指令对所述报警信息进行相应的报警管理操作，并生成第三结果发送给所述至少一个客户端，其中，所述报警管理操作包括以下至少之一：查询报警指令、对报警信息进行分析确定报警产生的原因、根据报警产生的消除报警；

所述至少一个客户端用于对所述第三结果进行存储、查询、显示中的至少一种操作。

6.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，

所述服务器还用于记录并保存所述至少一个半导体设备群组中各个半导体设备产生的事件信息；

所述至少一个客户端还用于响应于用户操作，向所述服务器发送事件管理指令，所述事件管理指令包括以下至少之一：事件分类指令、事件查询指令、事件分析指令；

所述服务器还用于接收所述事件管理指令，并根据所述事件管理指令对所述事件信息进行相应的事件管理操作，并生成第四结果发送给所述至少一个客户端，其中，所述事件管理操作包括以下至少之一：对所述事件信息进行分类、对所述事件信息进行查询、基于所述事件信息分析事件发生的原因；

所述至少一个客户端用于对所述第四结果进行存储、查询、显示中的至少一种操作。