[发明专利]一种面内行波型直线超声电机以及平台进给装置

权利要求书

1.一种面内行波型直线超声电机，包括定子组件和动子，其特征在于：定子组件整体呈圆柱结构，其包括圆环柱形定子，在圆环柱形定子的圆周面上均匀布设若干齿条，圆环柱形定子的两个端面分别设置对称的两个薄片圆环状弹性基体；

还包括以圆环柱形定子为中心对称设置的两组压电陶瓷片组，每组压电陶瓷片的一侧与薄片圆环状弹性基体连接，每组压电陶瓷片的另一侧设置导电膜，薄片圆环状弹性基体位于圆环柱形定子与压电陶瓷片组之间；

在压电陶瓷片表面分区极化；

动子呈长条状设置，其悬设在圆环柱形定子的圆周表面，且动子与圆环柱形定子接触的部分呈T字形，T字形的横向部分与圆环柱形定子圆周表面接触。

2.根据权利要求1所述的面内行波型直线超声电机，其特征在于：在薄片圆环状弹性基体结构内安装用于对圆环柱形定子进行定位的配重结构；

配重结构与薄片圆环状弹性基体结构之间的空间内安装柔性腹板，且配重结构、柔性腹板以及薄片圆环状弹性基体三者位于同一平面内。

3.根据权利要求1所述的面内行波型直线超声电机，其特征在于：在圆环柱形定子的圆周面上均匀布设若干齿条，每个齿条呈凹字型结构设置，且其开口部分朝向圆环柱形定子的中心；

在其中一个齿条的齿面上粘贴摩擦材料。

4.根据权利要求1所述的面内行波型直线超声电机，其特征在于：压电陶瓷片组包括若干顺次相连的压电陶瓷片，每组压电陶瓷片组呈与薄片圆环状弹性基体结构匹配的圆环状；

压电陶瓷片的一侧粘贴在与其相邻的薄片圆环状弹性基体上，且若干压电陶瓷片分成若干进行极化的分区。

5.一种基于面内行波型直线超声电机的平台进给装置，包括机盖、支撑件、底座、滑轨组件以及工作平台，其特征在于：支撑件呈U型结构设置，定子组件固定在支撑件形成的U型结构内，支撑件的封闭端安装在机盖上；

在支撑件的垂直部分向外的一侧上安装滑条，滑条与定子组件内圆环柱形定子的径向平行，底座同样呈U型结构，其可移动套设在支撑件上，在底座的垂直部分内侧分别开设滑槽，滑槽与滑条匹配；

在底座的横向部分安装滑轨组件，工作平台的底部通过滑轨组件可移动连接在底座横向部分；

动子安装在工作平台与定子组件相对的一侧，且动子与圆环柱形定子接触的部分呈T字形，T字形的横向部分与圆环柱形定子圆周表面接触。

6.根据权利要求5所述的基于面内行波型直线超声电机的平台进给装置，其特征在于：在支撑件的封闭端与机盖连接处设置预压力调整垫片。