[发明专利]电容式传声器及其制作方法

说明书

本发明的电容式传声器包括：基础基板；薄膜，位于所述基础基板上；背板部，位于所述薄膜上；空气层，位于所述薄膜和所述背板部之间；多个管形凸起；从所述背板部上向着所述薄膜方向凸出至空气层。

技术领域

本发明涉及电容式传声器(condenser microphone)及其制作方法，更详细地说涉及通过声压振动的薄膜的振动效率好，输出电压的灵敏度优秀的电容式传声器及其制作方法。

背景技术

通常的声传感器(acoustic sensor)作为将声信号变换成电信号的装置包括传声器。

传声器根据材料或工作原理，具有非常多样的多种。

例如，根据材料分为碳粒传声器(carbon microphone)、晶体传声器(crystalmicrophone)以及电磁传声器(magnetic microphone)。

并且，根据工作原理可以分为利用由磁场产生的感应电动势的动圈传声器(dynamic microphone)和利用薄膜(membrane)或膜片(diaphragm)等振动板的振动引发的电容(capacitance)变化的电容式传声器。

电脑、移动通讯终端、MP3录音机、卡带录音机、摄像机、耳麦等，便携式电子机器或小型电子机器主要使用ECM(Electret Condensor Microphone，驻极体电容传声器)或MEMS(Micro Electro Mechanical System，微机电系统)传声器等超小型电容式传声器。

ECM传声器利用一种叫驻极体(electret)的极化电介质。ECM传声器在未接通偏置电压的期间，具有蓄积电荷的功能。驻极体的电荷对温度敏感，并且由于长期漂移(Long-Term Drift)导致特性恶化从而降低传声器的敏感度。因此，虽然用驻极体将特氟隆(Teflon)适用于传声器，但在标准的量产工程中适用特氟隆引发了很多困难的问题。

相反，电容式传声器不需要驻极体，为蓄积电荷只需接通偏置电压。

电容式传声器根据温度具有适当的感知(Sensing)灵敏度和低感知灵敏度。这种电容式传声器为了较小的大小(size)和低费用量产化大多以MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)工程制造，因此电容式传声器也被统称为MEMS传声器(MEMSmicrophone)。

电容式传声器包括两个平板电容，即振动板和背板(back plate)，两个平板电容通过以绝缘物质作用的空气层(air gap)分离。

支撑振动板和背板的基础基板形成背音室(Back Chamber)。背板形成多个音响孔执行缓和空气阻尼(Air Damping)的作用。

通过背板的音响孔引入的声波成为扭曲振动板的原因，振动板和背板之间的电容随着空气层的厚度变化而变化。

这种随着空气层的厚度变化而变化的电容，通过构成于电容式传声器的读出电路(Readout Circuit)变换为适当的电信号。

传声器商用化制造企业一直以来为了传声器的敏感度改善及噪声等级(NoiseLevel)持续改善了振动板和背板的结构和物质。

电容式传声器为了最小化寄生电容并提高振动板的振动效率需要维持振动板的有效振动。

图1示出现有的电容式传声器的部分结构。

如图1所示，现有的电容式传声板具备基础基板10、振动板11、背板12、位于基础基板10和背板12之间并支撑振动板11的绝缘连接部13a、13a及位于振动板11和背板12之间的空气层14。

此时，绝缘连接部13a、13b，如图1所示，以振动板11为中心分为位于下部的部分13a和位于上部的部分13b。